オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

スパッタ成膜ユニット

スパッタ成膜ユニット

マグネトロンスパッタ源と基板回転機構を装備した スパッタ成膜ユニット 【特徴】 ○優れた膜厚分布を実現 ○DCスパッタリング、RFスパッタリングを切り替えて 　使用する事が可能 ○2種類のスパッタ源を搭載することにより、異なった膜種を成膜可能 ○逆スパッタ機能搭載により、基板のクリーニング・エッチングが可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メープル

真空装置

真空装置

などの発展と共に拡大しています。 操作性・生産性の高いシステムの提供に努めており、いずれの装置も ユーザーのニーズが 充分に反映されたものになっています。 【取扱い真空装置】 ○スパッタリング装置 ○蒸着装置 ○真空排気装置 ○薄膜装置 ○FPD製造 ○真空環境試験装置 ●各種真空装置の詳細は、お問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

セトラ社　高性能圧力センサ　モデル５４６／５４７シリーズ

モデル５６７高性能圧力センサは、高過負荷アプリケーション用です。 圧…

Ｐ６８（水位計）の環境保護動作が保障されます。 実績のあるホイートストンブリッジの原理を用いた薄膜ひずみゲージ圧力センサは、 17-4 PHステンレス鋼のダイヤフラム上に優れた抵抗の均一性でスパッタリングされ、製作されています。スパッタ薄膜技術は、単純な構造のセンサ設計を可能にし、高精度でドリフトを排除し高感度でコンパクトなひずみゲージを実現しています。 ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

セトラ社　高性能圧力センサ　モデル５４０／５４２シリーズ

モデル５４０／５４２シリ－ズ高性能圧力センサは、長期的に高いパフォーマ…

実績のあるホイートストンブリッジの原理を用いた薄膜ひずみゲージ圧力センサは、 17-4 PHステンレス鋼のダイヤフラム上に優れた抵抗の均一性でスパッタリングされ、製作されています。スパッタ薄膜技術は、単純な構造のセンサ設計を可能にし、高精度でドリフトを排除し高感度でコンパクトなひずみゲージを実現しています。 圧力レンジの、０～１００ｋＰａから４...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

真空蒸着システム　UBM Sputter

合金、化合物、絶縁膜の蒸着が可能

磁石と外部磁石の磁場の強さを異なるように設計し、スパッタの 効率を増大させた装置です。 ■□■メリット■□■ ■合金、化合物、絶縁膜の蒸着が可能 ■多様な反応性ガスによる反応性スパッタリングが可能 ■蒸着膜の厚さの均一性 ■広い面積のターゲット利用が可能 ■アーク蒸着の時と同じくMacro particle が非形成 ■低温工程が可能 ●その他詳細は...

メーカー・取り扱い企業： パーカー熱処理工業株式会社 川崎事業所