オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

光学式プロセスモニタOptius

さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます…

光学式プロセスモニタOptiusは、プラズマの発光スペクトルを測定することで、さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます。 反応性スパッタリングでのMFC制御やエッチングのエンドポイント検出などに最適です。 【仕様】 ○質量　本体ユニット（TSC）： 4.9kg 　　　　拡張ユニット（ESC, 1ch）： 1.3kg ○電...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

セトラ社　高性能圧力センサ　モデル５４６／５４７シリーズ

モデル５６７高性能圧力センサは、高過負荷アプリケーション用です。 圧…

Ｐ６８（水位計）の環境保護動作が保障されます。 実績のあるホイートストンブリッジの原理を用いた薄膜ひずみゲージ圧力センサは、 17-4 PHステンレス鋼のダイヤフラム上に優れた抵抗の均一性でスパッタリングされ、製作されています。スパッタ薄膜技術は、単純な構造のセンサ設計を可能にし、高精度でドリフトを排除し高感度でコンパクトなひずみゲージを実現しています。 ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

セトラ社　高性能圧力センサ　モデル５４０／５４２シリーズ

モデル５４０／５４２シリ－ズ高性能圧力センサは、長期的に高いパフォーマ…

実績のあるホイートストンブリッジの原理を用いた薄膜ひずみゲージ圧力センサは、 17-4 PHステンレス鋼のダイヤフラム上に優れた抵抗の均一性でスパッタリングされ、製作されています。スパッタ薄膜技術は、単純な構造のセンサ設計を可能にし、高精度でドリフトを排除し高感度でコンパクトなひずみゲージを実現しています。 圧力レンジの、０～１００ｋＰａから４...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

真空環境内の圧力測定センサ【真空環境内の圧力分布を同時測定！】

真空チャンバー内などセンサ複数設置により広範囲が測定可能！今まで困難だ…

ム構築 ■耐振動・耐環境性 真空装置内の任意の箇所へ設置してピンポイントで圧力測定ができます。また、複数設置で圧力分布測定も可能です。 例１：真空蒸着装置の対象物前後に設置 例２：スパッタリング装置の対象物近傍へ設置 例３：真空成形装置の金型近傍へ設置 例４：真空チャンバー内へ複数設置 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社岡野製作所

ツール『VA プロセスマスター』

新しいレシピへの調整時間の短縮！ツールは製膜システムの生産性向上に貢献

ロセス設定、そしてすべての 薄膜システムを制御するためのツールです。 プロセス制御において新手法を採るこのツールは、オペレーターの関与無しに 優れた結果をもたらします。 また、スパッタリングプロセスの完全自動ドリフト補正を可能にし、製品品質を 向上。さらに、このツールは当社のお客様が魅力的な製品のために複雑な レシピを作成することを可能にします。 【特長】 ■インライ...

メーカー・取り扱い企業： フォンアルデンヌジャパン株式会社

ディップコーター

ディップコーターODP-0.01は、蒸着やスパッタリングと比べて低価格…

引き上げ速度：0.01 mm/sec. to 3 mm/ sec. ( 1- 180mm/min)で薄膜を作製する装置です。 低コスト、少スペース、研究室やラボに最適です。...引き上げ速度：0.01 mm/sec. to 3 mm/ sec. ( 1- 180mm/min) 表示精度：+/-0.05% 最大サンプルサイズ：75 (W) x 100(T)　mm 処理ストローク ：22...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オーリー