CVD-DLCと硬質膜用PVDの複合型コーティング装置。スムースサーフェスのPVD膜+ハイレートDLC。硬度+トライボロジー薄膜
自動車用のDLC膜に実績豊富なPIG式DLC膜コーティング装置に高密度スパッタカソードADMS機構(アーク放電型マグネトロンスパッタリングカソード)を多元追加。トライボロジー特性に優れたDLC膜に硬質合金膜を積層。スムースな表面を持つ新硬質コーティングを実現。
従来のDLC膜も新カソードの機能を追加し性能UP。
密着力。耐面圧の向上を容易に実現
もちろん従来のPIG式DLC膜コーティング装置は機能追加でシステムアップOK
CVD/PVD単体性能も充分発揮できる最新型新機能硬質膜コーティング装置
基本情報ハイブリッド硬質膜コーティング装置(DLCーCVD+PVD装置)
PIG式DLC膜コーティング装置の基本構成本体にアーク放電型マグネトロンスパッタリングカソードを2元追加。硬質の窒化膜・酸窒化膜を積層可能。さらにナノレベルでスムースなDLCの下地や他の硬質膜との積層で新しい機能硬質膜を実現。
硬質膜と個体潤滑膜のそれぞれの目的でも充分活用可能
新機能+多用途対応の硬質膜コーティング装置
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用途/実績例 | 自動車部品コーティング 金型・刃物コーティング |
カタログハイブリッド硬質膜コーティング装置(DLCーCVD+PVD装置)
取扱企業ハイブリッド硬質膜コーティング装置(DLCーCVD+PVD装置)
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