神港精機株式会社東京支店
最終更新日：2020-05-26 09:34:45.0
硬質膜用スパッタリング装置ＳＴＬ５５２１型
基本情報硬質膜用スパッタリング装置ＳＴＬ５５２１型
精密レンズ金型の表面コーティングに対応。多元同時スパッタで耐熱性の合金膜を形成。貴金属ベースの平滑で高耐久性薄膜形成に最適。
小径カソードを多元装備した硬質膜用途にカスタマイズされた専用スパッタリング装置。
基板を迅速に加熱できる基板加熱機構で密着性と膜の緻密性を向上。
多元同時スパッタや積層成膜によって膜組成も精密に制御。
個別要求に細やかに対応する硬質膜用ロードロックタイプ全自動スパッタリング装置
ハイブリッド硬質膜コーティング装置（ＤＬＣーＣＶＤ＋ＰＶＤ装置）
自動車用のＤＬＣ膜に実績豊富なＰＩＧ式ＤＬＣ膜コーティング装置に高密度スパッタカソードＡＤＭＳ機構（アーク放電型マグネトロンスパッタリングカソード）を多元追加。トライボロジー特性に優れたＤＬＣ膜に硬質合金膜を積層。スムースな表面を持つ新硬質コーティングを実現。
従来のＤＬＣ膜も新カソードの機能を追加し性能UP。
密着力。耐面圧の向上を容易に実現
もちろん従来のPIG式ＤＬＣ膜コーティング装置は機能追加でシステムアップＯＫ
ＣＶＤ／ＰＶＤ単体性能も充分発揮できる最新型新機能硬質膜コーティング装置 （詳細を見る）
赤外線反射防止膜用ＤＬＣコーティング装置
硬質膜・表面処理用途で実績豊富なＰＩＧ式ＤＬＣ膜形成装置を赤外線光学用途に展開。９０％以上の高い透過率を持つＤＬＣ膜を基板両面に一括形成
硬質・高い透過率のＤＬＣ膜を高い生産性で実現。
（詳細を見る）
硬質膜用スパッタリング装置ＳＴＬ５５２１型（精密レンズ金型用）
精密レンズ金型のコーティングに必要な耐熱性の高い耐摩耗膜のに形成に最適。レンズ金型のコーティングに適したＰｔやＲｕなどの貴金属合金を多元同時スパッタで小径カソードで効率的に形成。またナノ多層構造の積層膜により耐熱性と硬度に優れた膜も形成可能。
精密レンズ金型のような基板を高速に加熱できる特殊基板台と専用ロードロック機構でスループット向上を実現。 （詳細を見る）
取扱会社 硬質膜用スパッタリング装置ＳＴＬ５５２１型
●装置事業部 （成膜装置） ・スパッタリング装置 ・真空蒸着装置 ・硬質膜形成装置 ・プラズマCVD装置 （プラズマ装置） ・エッチング装置 ・アッシング装置 ・クリーニング装置 （熱処理装置） ・真空リフロー装置 ・プラズマリフロー装置 ・真空熱処理装置 ・アニール装置 ●規格品事業部 ・ドライポンプ ・油回転真空ポンプ ・水封式真空ポンプ ・メカニカルブースタ ・真空排気装置 ・真空計、真空弁、真空部品 ・精密投影機 ・特殊光学機器
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