圧電膜成膜装置

MEMSやFBARの生産に特化した成膜装置です。

原理：DC，AC（デュアルマグネトロン）スパッタリング 特徴 AlN、AlScN（圧電）膜、Mo（メタル）膜の成膜 優れた応力制御/分布 結晶性 高スループット 高歩留まり 高いメンテナンス性 200 mm　ウエハ対応 非常にコ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー