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【セラミックヒーター】窒化アルミ製 ワトローウルトラミック(R)
PRセラミックの中でも抜群の高熱伝導率性を有する窒化アルミ基板と特殊な発熱…
ワトローウルトラミック(R)は、半導体や電気自動車(EV) 等の開発において、好適なパフォーマンスを提供する窒化アルミヒーターです。 高い熱伝導性、急速な温度変化への対応能力、高温時でも安定した電気的特性、そして正確な温度制御が可能な熱電対内蔵構造を持つ当ヒーターは、高度な熱処理ニーズに応えます。 【特長】 ○熱伝導性の高い窒化アルミ基板を採用 ○急速昇温(最大150℃/sec)・急速降温に対応...
メーカー・取り扱い企業: 坂口電熱株式会社
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PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…
◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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高真空、耐高温、高電圧、高密度!「半導体製造装置用コネクタ」
ワンタッチでの簡単操作の嵌合・脱着が可能な小型コネクタ! 振動、ねじ…
検査測定装置 高電圧 ■ イオン注入装置 ■ 高電圧・高周波電源装置 ■ PZT駆動装置 ■ 測長SEM他検査測定装置 気密(高真空)仕様 ■ ウェハハンドリング ■ セラミックヒータ ■ 電子ビーム描画装置 ■ 真空チャンバー ■ 測長SEM他検査測定装置 耐高温/耐熱性 ■ セラミックヒータ ■ ドライエッチング装置 ■ マスフローコントローラ ■...
メーカー・取り扱い企業: レモジャパン株式会社
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【資料】高電流・高周波対応可能の高電圧コネクタソリューション
今後の更なる半導体製造装置の高機能化・省スペース化にもマッチした高電圧…
検査測定装置 高電圧 ■ イオン注入装置 ■ 高電圧・高周波電源装置 ■ PZT駆動装置 ■ 測長SEM他検査測定装置 気密(高真空)仕様 ■ ウェハハンドリング ■ セラミックヒータ ■ 電子ビーム描画装置 ■ 真空チャンバー ■ 測長SEM他検査測定装置 耐高温/耐熱性 ■ セラミックヒータ ■ ドライエッチング装置 ■ マスフローコントローラ ■...
メーカー・取り扱い企業: レモジャパン株式会社
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真空用コネクタ。アウトガスの排出が少ない素材を使用したコネクタです。
ご希望に合わせて、電気の接続部分を設計いたします。 電流、電圧、真空レベル、温度、その他環境に合わせることができます。カタログの中から選ぶではなく、お客様との打ち合わせで出来あがる商品です。...低真空から高真空や、650℃の高温ヒータがある真空下でも使用可能なコネクタです。ご要望のコネクタ形状に合わせてを1個から設計・製作致します。 ガスや油などが入った容積内で使用できるコネクタも制作いたし...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社グローブ・テック
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今後の装置に対して幅広いラインアップの気密封止型製品で「お客様の多様な…
率1x10⁻¹⁰ Pa.㎥/s(1x10⁻⁹ mbar.l/s )以下の特別セラミックシールドソリューションを提供出来ます。 主なアプリケーション分野: ■ ウェハハンドリング ■ セラミックヒータ ■ 電子ビーム描画装置 ■ 真空チャンバー ■ 測長SEM他検査測定装置 高い気密性と手頃な価格により、気密を必要とするチャンバー等との信号の接続に多数ご使用いただいており...
メーカー・取り扱い企業: レモジャパン株式会社
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今後の更なる半導体製造装置の進化に対して小型高密度製品で「お客様のダウ…
検査測定装置 高電圧 ■ イオン注入装置 ■ 高電圧・高周波電源装置 ■ PZT駆動装置 ■ 測長SEM他検査測定装置 気密(高真空)仕様 ■ ウェハハンドリング ■ セラミックヒータ ■ 電子ビーム描画装置 ■ 真空チャンバー ■ 測長SEM他検査測定装置 耐高温/耐熱性 ■ セラミックヒータ ■ ドライエッチング装置 ■ マスフローコントローラ ■...
メーカー・取り扱い企業: レモジャパン株式会社
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