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超小型デジタル圧力コントローラ AP160M/CV150シリーズ
AP160Mは、低真空から高真空まで真空プロセス装置に最適です
AP160Mは、比例式ソレノイドバルブの開度をアナログ的に制御することによって、目的配管内の圧力を制御するものです。本装置は、特に半導体に使われるようなクリーンガスに対応できるよう、圧力センサや、接ガス部はオールメタルでできており...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エー・シー・イー
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マスフローコントローラ MODEL8700/3660SERIES
温度や圧力の影響を受けにくく、高精度な流量の計測や制御が可能! N2、…
【標準仕様(抜粋)】 ■バルブ方式:比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉) ■入口最大圧:500kPa(G) ■許容周囲温度:5~45℃ ■重量 ・8700MC/MM:約1200g ・8750MC/MM:約1500g ・3660:約...
メーカー・取り扱い企業: コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡
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