CVD-SiC（化学蒸着法）「SiC製品」

SiC成膜技術で未来をひらく！独自の化学蒸着法で製作されたSiC製品

【製品紹介】 ○コーティング技術 　→半導体製造装置用チューブ・ボート など ○膜単体製造技術 　→膜単体ボートおよびSiCダミーウェハ／SiCダミーウェハ／各種膜単体部品 など ○ソリューション 　→超高温アニール装置用部材／中空式および組立式ボート／超高純度SiCパウダー など 【SiC各種物性地】 [(11...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェローテックホールディングス

「SiCとは？」

半導体、産業機械、原子力、航空宇宙分野に最適！高性能な化合物“SiC”

硬度、耐酸化性、化学的安定性、耐熱性などの特徴から、古くから研磨剤や耐火材、発熱体などに用いられてきました。近年では半導体素子製造工程で用いられるウェハボートやチューブ、シリコンウェハの代替となるダミーウェハなど、主に高温で使用される治具として広く活用されています。 【特徴】 ○化学的に安定している ○酸化しにくい ○熱に強い ○硬い 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダ...

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CVD-SiC（化学蒸着法）「SiC製品」

SiC成膜技術で未来をひらく！独自の化学蒸着法で製作されたSiC製品

【製品紹介】 ○コーティング技術 　→半導体製造装置用チューブ・ボート など ○膜単体製造技術 　→膜単体ボートおよびSiCダミーウェハ／SiCダミーウェハ／各種膜単体部品 など ○ソリューション 　→超高温アニール装置用部材／中空式および組立式ボート／超高純度SiCパウダー など 【SiC各種物性地】 [(11...

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