フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

「炉」内外のダメージメンテナンス　～診断から補修まで～

PR「よく分からない」「今さら聞けない」「だけど永く使いたい」炉のメンテナ…

深刻なトラブルになる前に炉廻りのメンテナンスを。 省エネに向けたムダの洗い出し、自己点検のレクチャー、 予算に合った補修・定期点検まで、ご要望にお応えします。 【炉の診断＆補修の効果】 ・断熱性向上 ・品質向上 ・稼働トラブル回避 ・安全対策 【短工期施工】 ・炉を解体せずに行う、ファイバーキャスト注入による施工 ・炉壁コーティング ・プレキャスト施工等...【ご相談から診断、施工までの流れ】...

メーカー・取り扱い企業： 熱産ヒート株式会社 本社

【技術資料】CFRP複合材料のレーザアブレーション加工

超短パルスレーザの特長をはじめ、出力の表面ダメージへの影響などをご紹介…

CFRP材の加工コストの低減と加工品質の向上を図る手法として、 ナノ秒パルスレーザーを用いたレーザーアブレーション加工方法を提案・開発。 超短パルスレーザの特長をはじめ、 出力の表面ダメージへの影響の調査などを掲載しています。 【掲載内容】 ■はしがき ■超短パルスレーザの特徴とその応用 ■CFRP複合材の突合せモザイク継手 ■まとめ ※詳しくはPDFをダウンロー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社最新レーザ技術研究センター