FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

静電気除去装置 イオンチャンバー「ＳＩＣ－１５０」

ノズル式イオナイザーを搭載した除電、除塵ブース。赤外線センサーによる自…

イオンチャンバー「ＳＩＣ－１５０」は、ノズル式イオナイザーを搭載した 除電、除塵ブースです。 小型電子部品の除電、除塵に最適です。 赤外線センサーにより自動でＯＮ／ＯＦＦが可能です。 エアーフィルターを搭載し、クリーンエアーを供給します。 エアーフィルターは０．３μｍの異物まで除去可能です。 集塵ユニットにより２次汚染を低減しています。 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくは...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナカタニ