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300mmウェーハのFOUP、FOSB用!シンプルなベーシックユニット…
『FVD-BU』は、ウェーハをFOUP・FOSB(パージポート付)に入れたまま真空保管、 脱ガス、乾燥、ガス置換など多目的に使える真空デシケーターです。 ウェーハはFOUPの気密性に影響されず、長期間保管可能。チャンバーはFOUPの 大きさに合わせたコンパクトなサイズ。 また、FOUPなどの出し入れに便利なダンパーヒンジ付きで開閉がスムーズです。 この他に、電動タイプの「FV...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ベック
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