FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

真空はんだリフロー装置・酸化膜還元装置『RSS-210-S』

PRギ酸・水素還元両対応！最大200mm×200mmの基板に対応可能な卓上…

ギ酸・水素還元両対応卓上型真空はんだリフロー装置です。 業界最小クラスのコンパクトさながら、 大気・窒素・還元雰囲気（ギ酸または水素）、 また真空リフローにも対応。 さらに高速昇温・水冷方式による高速降温を実現しているので 研究開発や試作に適したモデルです。 はんだリフローや金属の酸化膜還元処理の他、ペースト材料の焼結など、様々な アプリケーションにも柔軟に対応します。 【特長】 ■フラック...

メーカー・取り扱い企業： ユニテンプジャパン株式会社

【研究施設】DFC型ドラフトチャンバー　背面活性炭ユニット

本体背面に活性炭ユニットを収納したタイプのドラフトチャンバーです。

型式：DFC13 本体背面に活性炭ユニット(活性炭吸着式)を収納したタイプ 天井高さ、設置幅の制約がある場所に利用できる...○囲い式フードとして均一な制御風速を保証する内部構造 ○サッシ閉止時に面風速の増加を防止するバイパスインレット ○内部空間を広くとれる側面埋込型メディアパネル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

【研究施設】低風量型ドラフトチャンバー　MDA

最大級の内部有効空間をもつ化学用フードのフラグシップモデル

＜確固たる低風量化を支える深化した機構＞ 低風量型ドラフトチャンバー先進国のヨーロッパで約35,000台の実績のあるワルドナー社のサポート技術に、ダルトン独自の技術を融合させたグローバルスタンダードです。 ＜様々なシーンで万一に備える安全性の追求＞ ドラフトチャンバーに対する長年培ったノウハウとプライドをもってダルトン独自の厳しい基準で、ディテールまで配慮された基本性能です。 ＜行...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

【研究施設】DFC型ドラフトチャンバー　樹脂製　酸・アルカリ使用

酸・アルカリを使用する作業に適した樹脂性のドラフトチャンバーです。

型式：DFC54 酸・アルカリを使用する作業に適した樹脂性のドラフトチャンバー...○囲い式フードとして均一な制御風速を保証する内部構造 ○前面サッシの材質を強化ガラスに変更することが可能です。（オプション） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

リフトオフ装置　※テスト可能機種あり

枚葉式・バッチ式のラインナップから、各工程及び仕様を選択し装置をカスタ…

ダルトンのリフトオフ装置は６種のラインナップと６種類のオプションを有し、用途やウエハーの性質に合わせて使用をご選定頂けます。 【ラインナップ】 ・HU型（量産向け）…バッチ、枚葉の併用仕様。より早く、確実な仕上がり ・HM型（研究開発・量産向け）…Jet処理のみで剥離が可能なウエハーに好適。 ・CHU型（研究開発向け）…HU型の特長を受け継ぎながら、コンパクト化を実現 ・MJ型（研究開発向け）…...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

FOUP洗浄装置

特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

【研究施設】耐火薬品保管庫

作業者の生命を保護。省スペースで実現。火災の拡散を防止する耐火薬品保管…

火災発生時には連鎖反応による誘爆を防止することにより、建物への影響や二次災害を最小限に阻止することができる耐火薬品保管庫です。省スペースのため作業する近くに設置することができるので、保管庫までの長い距離を歩く必要はありません。詳しくお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。...【ラインナップ】 ○PREMIUM →横幅が595mmのスマートな耐火式保管庫。 →狭い実験室の空...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

【研究施設】DFC型ドラフトチャンバー　背面スクラバーユニット

本体背面にスクラバーユニットを収納したタイプのドラフトチャンバーです。…

型式：DFC16 本体背面にスクラバーユニット(洗浄液循環式)を収納したタイプ 天井高さ、設置幅の制約がある場所に利用できます...○囲い式フードとして均一な制御風速を保証する内部構造 ○サッシ閉止時に面風速の増加を防止するバイパスインレット ○内部空間を広くとれる側面埋込型メディアパネル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

【研究施設】DFC型ドラフトチャンバー　上部スクラバーユニット

本体上部にスクラバーユニットを搭載したタイプのドラフトチャンバーです。

型式：DFC14 本体上部にスクラバーユニット(洗浄液循環式)を搭載したタイプ 設置開口の制約がある場合に利用できます...○囲い式フードとして均一な制御風速を保証する内部構造 ○サッシ閉止時に面風速の増加を防止するバイパスインレット ○内部空間を広くとれる側面埋込型メディアパネル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

【研究施設】DFC型ドラフトチャンバー　左側スクラバーユニット

本体左側にスクラバーユニットを設置するタイプのドラフトチャンバーです。

型式：DFC15 本体左側にスクラバーユニット(洗浄液循環式)を設置するタイプ...○囲い式フードとして均一な制御風速を保証する内部構造 ○サッシ閉止時に面風速の増加を防止するバイパスインレット ○内部空間を広くとれる側面埋込型メディアパネル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

【研究施設】DFC型ドラフトチャンバー　左側活性炭ユニット

本体左側に活性炭ユニットを設置するタイプのドラフトチャンバーです。

型式：DFC12 本体左側に活性炭ユニット(活性炭吸着式)を設置するタイプ...○囲い式フードとして均一な制御風速を保証する内部構造 ○サッシ閉止時に面風速の増加を防止するバイパスインレット ○内部空間を広くとれる側面埋込型メディアパネル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

【研究施設】DFC型ドラフトチャンバー　上部活性炭ユニット

本体上部に活性炭ユニットを搭載したタイプのドラフトチャンバーです。

型式：DFC11 本体上部に活性炭ユニット(活性炭吸着式)を搭載したタイプ...○囲い式フードとして均一な制御風速を保証する内部構造 ○サッシ閉止時に面風速の増加を防止するバイパスインレット ○内部空間を広くとれる側面埋込型メディアパネル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

【研究施設】DFC型ドラフトチャンバー　過塩素酸使用

過塩素酸を使用する作業に特定したドラフトチャンバーです。

型式：DFC51 過塩素酸を使用する作業に特定したドラフトチャンバー...○囲い式フードとして均一な制御風速を保証する内部構造 ○大容量の熱機器利用を想定したコンセントを装備 ○過塩素酸の滞積を防ぐための排気チャンバー洗浄装置を装備しています。 ○過塩素酸に特定した作業のために作業サッシ高さを500mmに設定しています。 ○排気温度監視装置により、過度の熱源使用による排気温度の上昇を警報...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

【研究施設】DFC型ドラフトチャンバー　酸分解作業

酸分解作業に適したドラフトチャンバーです。

型式：DFC50 酸分解作業に適したドラフトチャンバー...○囲い式フードとして均一な制御風速を保証する内部構造 ○サッシ閉止時に面風速の増加を防止するバイパスインレット ○酸分解に特定した作業のために作業サッシ高さを500mmに設定しています。 ○排気温度監視装置により、過度の熱源使用による排気温度の上昇を警報により知らせます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

【研究施設】DFC型ドラフトチャンバー　強酸使用

常温で強酸を使用する作業に特定したドラフトチャンバーです。

型式：DFC53 常温で強酸を使用する作業に特定したドラフトチャンバー...○囲い式フードとして均一な制御風速を保証する内部構造 ○強酸耐食性を高めるために作業面及び内装材質が樹脂（PVC）になっています。 ○前面ガラス内面は、フィルム貼りになっています。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

【研究施設】DFC型ドラフトチャンバー

制御風速を基準とした従来型ドラフトチャンバー標準機種です。

型式：DFC10 制御風速を基準とした従来型ドラフトチャンバー標準機種...○囲い式フードとして均一な制御風速を保証する内部構造 ○サッシ閉止時に面風速の増加を防止するバイパスインレット ○内部空間を広くとれる側面埋込型メディアパネル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

【研究施設】DFC型ドラフトチャンバー　樹脂製　背面スクラバー

背面にスクラバーユニットを組込んだ樹脂性のドラフトチャンバーです。

型式：DFC55 背面にスクラバーユニットを組込んだ樹脂性のドラフトチャンバー...○囲い式フードとして均一な制御風速を保証する内部構造 ○前面サッシの材質を強化ガラスに変更することが可能です。（オプション）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

【研究施設】DFC型ドラフトチャンバー　SUS内壁　有機溶剤作業

内壁と作業面をステンレスにした有機溶剤作業専用のドラフトチャンバーです…

型式：DFC60 内壁と作業面をステンレスにした有機溶剤作業専用のドラフトチャンバー...○囲い式フードとして均一な制御風速を保証する内部構造 ○サッシ閉止時に面風速の増加を防止するバイパスインレット ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

【研究施設】湿式排ガス処理装置　竪型スクラバー　PSD

排ガス押し込み式で、吐出騒音が軽減。騒音対策に有利なスクラバーです。

湿式排ガス処理装置　竪型スクラバーは、排ガス押し込み式で、吐出騒音が軽減し、騒音対策に有利です。充填塔式・竪型構造の一般的な科学実験用ドラフトチャンバーの排ガス処理に広く使用されています。詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...【特徴】 ○排ガス押し込み式で、吐出騒音が軽減し、騒音対策に有利 ○排出は、上方向に高速で排気されるため、風の影響をほとんど受けない ○循...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

ウエハー洗浄装置（スピン式）※テスト可能機種あり

生産規模に応じて複数チャンバーに対応。ウエハーの均一なエッチングを実現…

自動酸・アルカリ洗浄装置。 対応ワークサイズ　φ2～12インチ。角型基板などの特殊サイズもご相談ください。 2流体混合ノズルにより直接2種類の原液を使用した洗浄処理を実現。混合比率を調整することにより反応熱で狙いの温度に昇温することが可能。 【その他特長】 ■ブラシ洗浄機能付き装置の製作が可能。 ■フォトマスク洗浄装置の製作が可能。 ■薬液供給、回収ユニットの装置本体組込みが可能。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン