スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型

対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！

関節ロボットを採用 ○対象ワーク：200mm□基板又はφ300mm基板に適用 【仕様】 ○外形 W2300×D2300×H1850 ○ローダー：1カセット収納 ○カップ：SUS304テフロンコート ○ディスペンサー：空圧式ダイアフラム方式 ○圧送タンク：レジストボトル用 ○カップ自動洗浄：アセトン、ベローズポンプ ○気液分離タンク：SUS304 ○露光機：オプション ○現...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…

トを採用 ○対象ワーク：200mm□基板又はφ300mm基板に適用 【仕様】 ○外形(mm)：W2300×D2300×H1850 ○ローダー：1カセット収納 ○カップ：SUS304テフロンコート ○ディスペンサー：空圧式ダイアフラム方式 ○圧送タンク：レジストボトル用 ○カップ自動洗浄：アセトン、ベローズポンプ ○気液分離タンク：SUS304 ○露光機：オプション ○現...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター JASC-200型

対象ワーク：2"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用！

5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用 【仕様】 ○外形寸法：W2000×D1500×H1750 ○ローダー：1カセット収納 ○センタリング：エアーシリンダー ○カップ：SUS304テフロンコート ○回転数：MAX3000rpm ○モーター：400W AC サーボモーター ○搬送機：多関節ロボット ○ハンガー：エッジクランプ方式 ○ベーク：ホットプレート3段、搬送シャトル方...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…

□基板又はφ2"～φ5"基板に適用 【仕様】 ○外形(mm)：W2000×D1500×H1750 ○ローダー：1カセット収納 ○センタリング：エアーシリンダー ○カップ：SUS304テフロンコート ○回転数：MAX3000rpm ○モーター：400W AC サーボモーター ○搬送機：多関節ロボット ○ハンガー：エッジクランプ方式 ○ベーク：ホットプレート3段、搬送シャトル方...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社