スプレー/パドル兼用 小型スピン現像装置（デベロッパー)

高品質・低価格・省スペースを追求 スイングスプレー式、パドル方式の両…

6インチウエハ対応の小型スピン現像装置。スイング式ノズルによるスプレー現像の他、パドル現像も行なえます。 プログラム入力により現像→リンス→振り切りの一連動作を連続して行なうセミオート方式デベロッパーです。...

メーカー・取り扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター

小型現像装置

スプレー及びパドル現像が行なえる、小型卓上タイプのスピンデベロッパー

現像→リンス→振り切り等を任意設定のプログラムにより連続処理が行なえるスピンデベロッパー。 プログラムは最大99ステップ×50パターン保存可能。 スプレーとパドルが1台で行なえる。...

メーカー・取り扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター

株式会社ナノテック　『会社案内』

“ナノテクの世界を創造する技術開発型企業”株式会社ナノテック

株式会社ナノテックは、半導体製造装置（マスクアライナー、スピンナー、デベロッパー、洗浄機）、MEMS（マイクロマシン）の研究開発、各種ツールの開発・製造などをおこなっております。専門分野は、光学関連精密機械（開発設計、機械加工、組立製作、販売）、産業分野は半導体製造装置、精...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック

自動現像/エッチング装置

簡単操作のCtoCロボット搬送付き現像/エッチング装置。用途によりデベ…

用途、ご予算に応じてカスタマイズできますのでお問合せ下さい。 又、搬送機構を持たない汎用機もございます。...スピン・スプレー方式現像/エッチング装置に搬送ロボットを搭載することにより、セットされた基板カセットから自動的にローダー・アンローダーを行い連続処理を行ないます。...

メーカー・取り扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター

保守・メンテナンスサービス

半導体・液晶・太陽電池製造設備の保守・メンテナンスは当社にお任せ下さい

＜対応実績＞ CVD装置, Dry Etching装置, 拡散炉/酸化炉, Wet洗浄装置, Wet Etching装置, 基板搬送装置, コーター/デベロッパー, ステッパー, など 詳しくは、お問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

φ300mm（12インチ）ウェハー用全自動両面露光装置

各工程インテグレードで効率生産！！！

<特徴> MLCSP、Ｃ-MOSno裏面配線用両面アライメント露光装置です。 エンバイロメント（Foup）を装備し、GEM300、OHTも対応 スピンコーター、デベロッパーもインテクレード可能、レジストコートから露光、現像まで全自動で パターニングが可能（オプション） レチクル自動交換（オプション） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所

自動フォトレジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置…

エハサイズ自動認識システム ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減（省スペース化） ■レジスト削減で多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ 【ASAPのコーター・デベロッパー機能】 ●スピンコーティング ●HMDS処理 ●ベーク ●クーリング ●現像 ●リンス 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ 【ASAPの特...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ