FOUPロードポート『TAS450』

ロードポートは新たなステージへ。可動部はパーティクル性能を向上させた構…

d E154 ■可動部はマッピングユニットを含め全てウエハ面下方にあり、 　パーティクル性能を向上させた構造 ■マッピングユニット（透過型センサ）をオプションにて取り付け可能 ■FOUP ドック時の障害物検出機能を搭載 ■FOUP 在荷時のFOUP有無、及び正常載置検出機能を搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： TDK株式会社 テクニカルセンター

FOUPロードポート『TAS300』

長時間のドア開閉繰返し動作でも安定した高性能を発揮！優れた耐久性のロー…

る事なく多種多様なFOUPの確実開閉が可能 ■マッピングユニット（透過型センサ）をオプションにて取り付け可能 ■長時間のドア開閉繰返し動作でも安定した高性能を発揮する優れた耐久性 ■FOUPドック時の障害物検出機能を搭載 ■FOUP在荷時のFOUP有無、及び正常載置検出機能を搭載 ■ロードポートの脱着時間短縮のため、BOLTS面に位置決め機構を搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いた...

メーカー・取り扱い企業： TDK株式会社 テクニカルセンター