防湿庫『ドライ・キャビ』／恒湿保管庫『ウエット・キャビ』

PR“超低湿度保管”が可能な省エネ機能付き防湿庫＆給水なしで加湿できる恒湿…

当社では、湿度管理に役立つ製品をラインアップしています。 ＜防湿庫『ドライ・キャビ』超低湿度型ＨＹＰシリーズ＞ 超高速除湿型のHYPシリーズと高速除湿型のDUSシリーズを用意しています。 ■1％RH以下の超低湿度を保持可能 ■湿度設定と自動省エネの機能が付いて更に高性能化 ■使いやすい全面ワイドドアで横長のものも出し入れ簡単 ■庫内に100V電源用差し込み口付き ■ドライユニット...

メーカー・取り扱い企業： トーリ・ハン株式会社

プラスチックなどの平面、曲面への印刷は特殊印刷機のナビタスへ！

PRプラスチックへの印刷は、平面も曲面もナビタスのパッド印刷、ホットスタン…

プラスチックは様々な素材があり、用途も、形状も多岐にわたります。そんなプラスチックへの加飾印刷をご提案するのがナビタスマシナリーです。 平もの、丸もの、円筒状、凹面内面など二次三次曲面への印刷が可能な印刷機を各種取り揃えています。お客様のご要望にお応えする量産、自動化や、省人化の機械もオーダーメイドでご対応。印刷工程で必要な表面処理装置、検査装置なども、それぞれのお客様に合った印刷をご提案致...

メーカー・取り扱い企業： ナビタスマシナリー株式会社

【エージング時間が大幅短縮！】耐プラズマ耐食性YOF保護膜

時代はY2O3からYOFへ！エッチング装置のエージング時間を大幅短縮、…

イオンアシスト蒸着法によるYOF膜（酸フッ化イットリウム膜）は、ドライエッチング装置部品の保護膜としてパーティクル低減、装置稼働時間を大幅にアップさせるだけでなく、これまで要したエージング時間を大幅に短縮させることができます。半導体不足が問題となっている昨今、歩留ま...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

【独自のイオンアシスト蒸着法による超緻密な厚膜】酸化イットリウム

イオンアシスト蒸着法による超緻密で厚膜形成で半導体歩留と装置稼働時間が…

化イットリウム）膜』についてご紹介します。 「Y2O3」を独自のイオンアシスト蒸着法でアルミナ基板上では15μm、石英ガラス上では10μmの密着性が高く、緻密性の高い厚膜ができます。 用途は、ドライエッチャー部品向け耐プラズマの保護膜です。 ドライエッチャー部品の成膜で良い膜をお探しの方はぜひ、ご相談ください。 【特長】 ■エッチング装置のRFウィンドウの再生市場価格1/2実現 ...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

【エッチング装置/アッシング装置部品の保護膜に】Y5O4 F7膜

Y5O4 F7膜は表面フッ素量変化が小さいのでエッチング装置のエージン…

半導体製造工程の一つであるドライエッチングプロセスにおいてウェハ処理を行うと、プロセスガス自体からの生成物やエッチング時の副生成物がチャンバ内壁やチャンバ内のパーツ表面に付着するといった現象が発生すします。これら堆積物の付着によ...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー