フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

ドライアイスペレット

PR自社製造の円筒状で小さい粒(Φ3mm)状のドライアイス

『ドライアイスペレット』は、円筒状で小さい粒(Φ3mm)のドライアイスです。 弊社では本社工場に製造装置（ペレタイザー）を導入しています。 ドライアイスブラスト（洗浄装置）の普及により需要も増えています。 小粒の形状なので冷熱を効率よく商品に与えることが可能。 角型のスライスタイプに比べ、必要量の調整が簡単。 角がなく、丸みのある形状のため、商品が傷つきません。 ドライアイ...

メーカー・取り扱い企業： 宮原酸素株式会社

非接触クリーナー 「RD series」※デモ可能

圧縮エアーで微粒子塵を除去するため、ワークへの影響が小さいクリーナー。…

非接触クリーナー 「RD series」は、ドライエアー洗浄方式により製品に触れる事無くクリーニング可能な非接触タイプのクリーニング装置です。 枚葉製品やロールtoロールのラインでのお客様の様々なご要望に対応します。 【特長】 ■非接...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

『非接触式クリーナー 除塵装置』　※デモ実施可能

【必見‼】異物除去でお困りの方。 「プリント基板・金属箔・PET…

極力、接触させたくないデリケートな素材や接触式(特にロール)では困難だった凹凸部のクリーニングが可能です。また非接触式の為、ワークへの影響を最小限に抑えられます。 ◆低ランニングコスト ドライ洗浄方式の為、水・薬液の交換や高コストなインフラ整備が不要です。 また主な消耗品はフィルタのみで低ランニングコストを実現しました。 ◆用途：プリント基板や金属箔、PETフィルムなどの製造工...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社