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PR立型構造の為、従来の横型に比べ圧倒的な省スペース化。又、同じ動力であれ…
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプ(ルーツ真空ポンプ)です。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社宇野澤組鐵工所
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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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多彩な乾燥モードで、さまざまな試料の水分測定に対応します。
■測定対象 粉粒体、液体、ペーストなど ■試料質量 最大120g/任意質量サンプリング方式 ■最小表示桁 水分率0.01%/0.1%切替、質量0.001g ■測定単位 水分(ウェットベース・ドライベース)、質量、固形分 ■再現性(標準偏差) 5g以上 0.05%(含水率)、10g以上 0.02%(含水率) ■測定モード ・自動停止モード ・時間停止モード(1~240分または連続(最...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ソーキ
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母材を傷つけない、高効率・低コストの新しい洗浄技術。6種類の洗…
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宮原酸素株式会社 -
ドライポンプ(ドライ真空ポンプ) SST/SSXシリーズ
独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ド…
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【モータ効率最大90%以上】出力〜2.5kWの広範囲で対応し、…
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