ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

直線導入機・回転導入機【超高真空用】

直線導入機・回転導入機で日本のものづくりをバックアップ！

の使用が可能 ・DCステップモーター、高トルクDCステップモータ、リバーシブルACモータ等を取付可能（オプション） ベローズ式回転式回転導入機は、真空側がタングステンジスルフィドを使用したドライフィルムベアリング、大気側は高温用 クライトックスを使用したベアリングです。 【特徴】 ・超高真空領域での使用が可能 ・高トルク対応（最大1.8N-m） ・DCステップモーター、高トルクD...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テクサム