• フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』 製品画像

    フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

    PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

    『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

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    メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

  • 金型などの洗浄「ドライアイス洗浄とは?」※ホワイトペーパー進呈中 製品画像

    金型などの洗浄「ドライアイス洗浄とは?」※ホワイトペーパー進呈中

    PR母材を傷つけない、高効率・低コストの新しい洗浄技術。6種類の洗浄方法の…

    『ドライアイスブラスト洗浄』は、圧縮エアで噴射したドライアイスが 母材と汚れの間に入り込み、昇華時に約800倍に膨張する爆発力を用いて、 母材を傷つけることなく汚れを除去できます。 【特長】 ■非研磨なので母材を傷つけない ■薬剤不使用なので環境負荷が低い  (二次廃棄物がなく、有害物質などもない) ■効率よく洗浄できるのでダウンタイムなし ★現在、プラスチック・ゴム部品な...

    メーカー・取り扱い企業: Cold Jet

  • 機能クリーン化SYSTEM 製品画像

    機能クリーン化SYSTEM

    機能クリーン化SYSTEM

    異物発生原因を特定し、装置に適した工事方法を提案 ドライアイスクリーンブラスト洗浄を核とした環境に適合したクリーンな洗浄...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社東洋ユニオン

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