ドライアイスペレット

PR自社製造の円筒状で小さい粒(Φ3mm)状のドライアイス

『ドライアイスペレット』は、円筒状で小さい粒(Φ3mm)のドライアイスです。 弊社では本社工場に製造装置（ペレタイザー）を導入しています。 ドライアイスブラスト（洗浄装置）の普及により需要も増えています。 小粒の形状なので冷熱を効率よく商品に与えることが可能。 角型のスライスタイプに比べ、必要量の調整が簡単。 角がなく、丸みのある形状のため、商品が傷つきません。 ドライアイ...

メーカー・取り扱い企業： 宮原酸素株式会社

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

省エネ型ドライ真空ポンプ　ER100D/ER100DC

同クラスの中でもトップクラスの省エネルギー・小型・軽量を実現！

省エネ型ドライ真空ポンプ　ER100D/ER100DCは、同クラスドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量化を実現しました。省エネルギー対応で、到達圧力時消費電力400W。小型・軽量を実現...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

コンパクトドライ真空ポンプ　DSP250/DSP500

冷却水不要なのでコンパクトな自由設計！20000時間以上の長寿命！

コンパクトドライ真空ポンプは小型、軽量、外乱に強いポータブルタイプの真空ポンプです。運搬に便利なコンパクト設計でスペースを取らないため自由な設置が可能です。軸受寿命は20000時間以上の長寿命です。SEM、医療機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

空冷式ドライ真空ポンプ FR060D

大気圧で連続運転が可能！乾燥、ロードロック室・搬送室排気に最適！

空冷式ドライ真空ポンプは空冷仕様で大気圧により連続運転が可能です。水蒸気吸入が可能なほか、到達付近まで一定の排気速度を維持します。ロードロック室・搬送室排気、高真空ポンプの補助ポンプ、分析・測定機器の排気、加...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

【納入事例】瞬間接着剤原料の減圧蒸留用排気システム

瞬間接着剤原料を製造する化学プラントの減圧蒸留工程で、反応缶を真空に引…

排気を継続できるように、 並列された2系統の排気システムで構成されています。 主排気系の「PRD25-60」はルーツ真空ポンプ（メカニカルブースタポンプ） 「RD2500」とスクリュー型ドライ真空ポンプの組み合わせ。接ガス部は オイルフリーですので、吸入気体による油汚染とそれに伴う頻繁な油交換は不要。 副排気系の「PRM25-45」は、ルーツ真空ポンプ（メカニカルブースタポンプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

ルーツ真空ポンプ

メカニカルブースターポンプ

を回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプ 【特徴】 ○油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる 　 機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれる ○ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、液封式真空ポンプなどの 　 大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組合せて使用する ○コンパクト設計なので、システムとしてまとめる事が容易 ○ベルト駆動型の大型ルーツ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

株式会社大阪真空機器製作所 製品案内

取り扱いが容易な液封式真空ポンプや故障しにくいエジェクタなどをラインア…

当カタログでは、低真空や超高真空までの幅広い真空製品を掲載しています。 ベルト駆動型油回転真空ポンプ「Pシリーズ」をはじめ、磁気軸受形複合分子 ポンプ「TG-Mシリーズ」やコンパクトドライ真空ポンプ「DSPシリーズ」など 多数製品を用途別に分けてご紹介。 製品の選定にぜひご活用ください。 【掲載製品(抜粋)】 ■ターボ分子ポンプ ■ターボ分子ポンプ真空システム ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所