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PR300種類超の製造実績!1987(昭和62)年運転開始以来コンタミクレ…
ラボ機での反響を踏まえ、平均粒子径5~20μmの微粒子造粒粉をつくる 中量機用二流体ノズルを2024年3月に導入致しました。 2022年12月に、微粒子生産試験用として二流体ノズル噴霧機構を 導入してから約一年、お客様からのフィードバックが良好であること、 またその結果を踏まえスケールアップをご希望の声があることなどをかんがみ、 中量機(大川原・OC-16型)向けにも二流体ノズル噴霧...
メーカー・取り扱い企業: 日華化成有限会社
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【スーパーマイクロシーブ】5ミクロンの丸穴微細加工技術とは?
PR従来の微細穴加工の工法とは異なる セムテックエンジニアリング 独自の技…
従来のエッチング、レーザー、ドリル、フライス、放電加工では行えない、精度の高い微細な穴加工が行えます。 弊社のスーパーマイクロシーブはエレクトロフォーミング技術による加工により生成されています。 『穴径 5μm~30μm以上の加工』 製造過程で混在する粗粒子を個数レベルで完全に除去できます。 『最小ピッチ 穴径+10μmの狭さ』 一枚面積における穴数が多いため高効率の分級が可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社セムテックエンジニアリング
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帯電により粒子を分散させ、オリジナルの固定式ノズルによるワークへの均一…
1. 電子天秤等で計量したスペーサを散布台に乗せ、手動で散布配管へ吸い上げます。 2. スペーサは散布配管との摩擦により帯電・分散します。 3. チャンバー内へ散布される前にマルチプレクサノズルから吐出する各方向へのN2によりワークへ分散散布します。 4. オプションの高圧電源ユニットで散布チャンバー内へ高電圧を印加することによりスペーサの使用効率と分布の改善、チャンバー内壁へのスペー...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社イーエッチシー
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コンパクトな自動搬送式の現像装置です。
処理能力 最大6インチ丸基板 25枚(専用カセット収納式) プロセス 現像液 2系統 (ノズル交換可能) リンス 1系統 エアーナイフ 1系統 使用薬液類 アルカリ系現像液 脱イオン洗浄水 搬送ロボット タツモ社製 センターリングステージにより基板位置精度...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社イーエッチシー
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大浩研熱株式会社