異物混入リスクを低減できる減圧弁＜FOOMA JAPAN出展＞

PR「FOOMA JAPAN 2024」にサニタリー減圧弁（接液部に摺動部…

-サニタリー減圧弁- 当社では、ピュアスチーム・クリーンスチーム用の減圧弁を提供しています。 液溜まりの無い構造でサニタリー性が良いほか、 接液部には摺動性がないため、異物混入リスクを低減できます。 【仕様】 ■作動方式：直動式　■本体材質：SUS316 ■接液部仕上げ：バフ＃320～400＋電解研磨 ■サイズ：15A～3S　■設計温度：158℃ ■設計圧力：0.5MPaG　■...

メーカー・取り扱い企業： トーステ株式会社

BACnet BTL認証　I/Oモジュール

PRBACnetモジュール　BTL認証

BACnetモジュール　BTL認証品、ルータ2種類、入力11種類、出力11種類、混合マルチ12種類の合計36種類の豊富なモジュールを用意しております。　防水仕様もあり、各種機器に特化した最適なモジュールを開発しております。...アナログ入力、アナログ出力、デジタル入力、デジタル出力、温度センサー入力、パルス入力、入出力混合モジュール、ルータ各種 全てBTL 認証...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンスコネクト

高純度ガス系バルブ『LOTOバルブ』

ヒューマンエラーによる誤操作防止！　OPEN状態 或いは OPEN-C…

当社が取り扱う、高純度ガス系バルブ『LOTOバルブ』をご紹介します。 バルブがCLOSE状態になると、ハンドルが下がり、鍵用の穴が見える 状態になり、バルブをOPEN状態にする場合は、ハンドルを上げて回します。 また...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

L型真空ベローズソフト排気バルブ『IVB/IVBL/IVBH』

スロー排気ライン用のバイパスバルブとメインバルブが一体構造になっている…

「IVB_X,VX」シリーズは、チャンバー内部で発生するパーティクルの 巻き上げを防止します。 メインバルブとバイパスバルブが一体となっており、大気から真空に 排気する場合、若しくは真空から大気に戻す場合に起こる急激な圧力 変動を抑え、メインバルブ開閉前にバイパスバルブでスロー排気により 圧力コン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系　2連3方バルブ（フリッカータイプ）

バルブボックス自体の省スペース化が可能！　コンパクトなボディ部のデッド…

『2連3方バルブ（フリッカータイプ）』は、当社の2連3方ブロック バルブのボディ部を更にコンパクトに設計し、デッドスペースを 究極にまで少なくした複合バルブです。 2つのバルブアクチュエーターはセンター...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系バルブ『TD/TCD（C-SEAL バルブ）』

1.125"C-SEAL対応　コンパクト設計のバルブ！誤作動防止LOT…

『TD/TCD（C-SEAL バルブ）』は、1.125" C-sealに対応する コンパクト設計されたバルブです。 1.125" C-seal用のサーフェスマウント向けとして手動・自動弁を 揃えており、手動弁は、90°回転...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系　2連3方バルブ（ブロックタイプ）

配管流路のデッドスペースを極小化、優れた脱ガス特性！特殊仕様として更に…

『2連3方バルブ（ブロックタイプ）』は、KD・KCD・RD シリーズ、 各シリーズダイヤフラムバルブの2台（2連）を一つにまとめ、配管流路を 共通化することによりデッドスペースを極小化した脱ガス特性の優れたバ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『クイックターンバルブ』

ヒューマンエラーによるバルブ誤操作防止を目的に開発された中間開度がなく…

株式会社キッツエスシーティーが取り扱う、半導体製造向け高純度ガス系バルブ『クイックターンバルブ』をご紹介します。 接続継手が1/4"CVCオスの「KD4QTS-VC」をはじめ、「KD8QTS-VC」、 「KD4QTS-VFC」、「KD8QTS-VFC」など多彩...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

クリーンバタフライバルブ『BZD』

半導体グレードに対応したバタフライバルブです。シール性を良くし、余分な…

『BZD』シリーズは、従来の汎用バタフライバルブに独自のクリーン化技術を 投入し完成された、半導体グレードに対応したバタフライバルブです。 本体及び接液部品がステンレス製のウエハー形の工業用バタフライバルブで、 パーティクルの滞留や付...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

ベローズバルブ『IB』

デッドスペースを小さくしパージ時間の短縮化を実現！ストレートタイプのベ…

『IB』シリーズは、ダイヤフラムバルブと比べ、高いCv値を 持つことにより設備の供給ラインなどの多くの流量を必要とした ユースポイントで性能を発揮するベローズバルブです。 ガス供給系だけでなく排気系の装置にも使用可能。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『高温（250℃）対応バルブ』

高性能、コンパクト、低価格を実現！均熱性を必要とする有機金属系の半導体…

『高温（250℃）対応バルブ』は、バルブ構成部品を全て オールメタル化することにより、250℃での使用が可能です。 独自の設計により高温環境でのCv値の落ち込みを極力減少させ、 高性能、コンパクト、低価格を実現。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

真空バタフライバルブ『IVWFシリーズ』

半導体真空装置の真空排気ラインに設置できるシンプルな構造を持ったバタフ…

『IVWFシリーズ』は、半導体真空装置の真空排気ラインに設置できる シンプルな構造を持った遮断弁です。 シンプルな構造により、コンパクト化と軽量化を行ったことを特長とし、 バルブ取り付け作業が容易。 スロットルバルブの構造は、マイクロメーターハンドルの目盛りにより 開度の再現が可能であり、差動ネジ機構による微小調整ができます。 【特長】 ■コンパクト化・軽...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

APCバタフライバルブ『PCAシリーズ』

チャンバー内を汚染しにくい構造！Oリングへのストレス低減、高い耐久性能…

『PCAシリーズ』は、バルブ開閉、スロー排気、調圧が可能なバルブです。 新開発のシートリング機構が、フラッパーに取り付けられたO-RINGの ねじれや脱落の問題を解消。また、フラッパーシール部がグリスレスのため、 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

WET系樹脂バルブ『FCDNシリーズ バイパス付自動弁』

バイパス弁開度の調整で節水も可能！バルブ閉時にも流体の滞留を防ぎます

「FCDNシリーズ」はクリーンで使いやすく、逆圧に対しても 高い封止性能があるバルブです。 『バイパス付自動弁』は、バルブ閉時にもバイパス流路により 流体の滞留を防ぎ、バイパス弁開度の調整で節水も可能。 バルブサイズは1/4"、3/8"、1/2"、3/4"、1"をご...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

L型真空ベローズホットバルブ『IVBH』

ボディ外部とベローズ内部にヒータを内蔵！弁体・ベローズを加熱できる真空…

『IVBH』シリーズは、ベローズの動きに追従するスパイラルヒーターを 内蔵し、弁開・弁閉状態でも弁体及びベローズを加熱できるL型真空バルブです。 当バルブは外部ヒーターだけでなく、ベローズの内部から加熱することにより コールドスポットをなくし、副生成物付着を極力少なくすることが可能。 ＃副生成物対策 内部・外部ヒーターは...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

L型真空ベローズホットバルブ『IVBHK』

最高250℃まで昇温可能なＬ型真空ベローズバルブ！マントルヒーターには…

『IVBHK』は、「IVBH」シリーズの構造をベースに接ガス部温度を 最高250℃まで昇温可能なL型真空ベローズホットバルブです。 バルブ外側ヒーターの他にベローズ内部のヒーターも装備されおり、 内部ヒーターは弁閉、弁開状態でも弁体とベローズを加熱できるため コールドスポットがなくなり副生成物付着を防ぎます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

角型真空ゲートバルブ『UXG/LGシリーズ』

Max180℃まで任意の温度に設定可能！メンテナンス期間を大幅に延長で…

『UXG/LGシリーズ』は、半導体真空装置の反応炉とトランスファーチャンバー 間の仕切りを行うために開発した角型のゲートバルブです。 ボディはアルミニウム製で、複動式エアーアクチュエーターにより作動。 ヒーター付き仕様は固定されたボディに内蔵している外部ヒーターによる 加熱だけでなく、可動部である弁体内部に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー