実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD（原子層堆積）装置』

PRご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パ…

ワッティーでは、ALD装置を使用した『受託成膜サービス』を行っております。 Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN等、各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能。 成膜可能サイズは小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能です。 ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜のお手伝い、お客様立会い によるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータ...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

完全密閉型洗浄装置『ケンテックPCS』

地球環境と労働環境に配慮！ケンテックのPCSだからできる“ゼロ・エミッ…

『ケンテックPCS』は、装置系内を微弱な(+)圧に維持し、ガスの漏れ出しや 空気の侵入がないよう設計された完全密閉型洗浄装置です。 ヒートポンプ式でエネルギーを循環利用するので、電力費やCO2排出を 大幅に低減。 また、蒸気洗浄・噴射・揺動など、適した洗浄方を選択いただけ、 さらに樹脂や新素材などの洗浄にも適応しています。 【特長】 ■全てのパーツがパイプで完全に連結密閉...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケンテック