【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

ピラニ・電離真空計・真空弁・真空部品

目的に合わせて選択可能！長年の技術の蓄積と経験に支えられた充実のライン…

当社では、各タイプの『ピラニ・電離真空計・真空弁・真空部品』をご用意しています。 真空度（低真空～高真空）や吸引ガスなど目的に合わせて選択可能です。 高い信頼性により化学・素材分野から電子デバイス製造分野まで関係...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

実験用真空チャンバー

納入後のプロセスサポート、改造、メンテナンスまで対応！大気圧ピラニ真空…

【その他の仕様】 ■真空測定用：ポート1ヶ所 ■ビューポート(覗き窓)： 3ヶ所 ■ベントポート：1ヶ所 ■予備ポート：1ヶ所 ■真空計：大気圧ピラニ真空計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社DINOVAC

ターボ分子ポンプ排気ユニット YTP シリーズ

大気圧から高真空まで排気可能な排気ユニットです。【アルバック／ULVA…

飽和蒸気圧が 　10-11Pa台（20℃）で、DRY仕様とすることで限りなく清浄 ○優れた停電対策 →フォアバルブに電磁弁を標準装備し停電時の逆流・故障を防止 ○粗引き状況を確認可能 →ピラニ真空計を標準装備し粗引き排気中の圧力の確認が可能 ○UHVまでの排気が可能 →オプションのベークジャケットを取り付け、 　脱ガス処理を行うことにより、UHV領域までの排気系として使用可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

シンプルな高真空排気ステーション・TURBOLAB Core

容易に操作が可能なエントリーモデル。費用対効果が高いのが特長。

ポンプはシンプルなDIVAC 1.4ダイヤフラムポンプ ■　内蔵コントローラがゲージ圧またはターボ分子ポンプの速度を表示。ポンプステーション全体をひとつで起動・停止するボタン ■　ライボルトのピラニ真空計またはペニング真空計を1台接続可能 ...

メーカー・取り扱い企業： ライボルト株式会社