【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

【特許取得済】狭小部でも使いやすいファイバーレーザー溶接機

PR狭小部にも対応できる小型トーチ。操作性に優れ、冷却用水冷式チラー搭載で…

『V-HP1500』は、狭小部にも対応可能な大出力のファイバーレーザー溶接機です。 ワークとハンドルの距離が近いので、操作性に優れ直感的で安定した溶接が行えます。 焦点距離設定及びストレートトーチへの付け替えはリングひとつのカンタン操作。 また、マルチモードCWレーザー出射で、材料・板厚の対応範囲が広がり、 冷却用水冷式チラー内蔵だから、安定したレーザー出力が得られます。 【特長】 ■狭小部で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社WEL-KEN ショールーム

342mmサセプタ対応真空アライナ　SVAL30D1シリーズ

真空環境下におけるサセプタをグリップ方式で高速、高精度に位置決めが可能

【特徴】 ○ワーク(トレイ)重量4kgまでのアライメントが可能 ○2軸磁性流体式フィールドスルー、溶接ベローズ搭載 ○耐真空限定反射型ファイバセンサを搭載 →アライナ単体での設置が可能 →チャンバの設計自由度が高まる ○トレイ接触部材質はPEEK、Oリング(バイトン) ○トレイ接触部材質、形状のカスタマイズに対応 ○トレイ内の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

50～100mm対応アライナ　SAL2241シリーズ

小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現しました。

2インチ,3インチ,100mmシリコンウェーハ ○位置決め時間：センタリング:6sec ○位置決め精度：センタリング:±0.3mm以内 オリフラロケート:±0.3度以内 ○センサ：限定反射型ファイバセンサ ○サイズ切替：コマンド制御による切替または通信 ○クリーン度：ISOクラス2(駆動部排気時) ○駆動方式：2相ステッピングモータ2軸使用 →モータドライバ、コントローラ内蔵 ○ユ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル