膜厚分布/屈折率分布 計測エリプソメータ『MEシリーズ』

微小領域測定、透明基板対応など、様々な膜厚分布測定に対応！高速マッピン…

『MEシリーズ』は、1nm以下の膜厚変化も高速・高密度に面測定が可能な 膜厚分布/屈折率分布 計測エリプソメータです。 φ8“ウェハまで全面測定可能。微小領域測定、透明基板対応など、様々な 膜厚分布測定に対応します。 独自開発のPCAセンサーにより、瞬時測定や移動中のサンプルの測定が可能。 より短時間により高精細な膜厚分布情報が得られます。 【特長】 ■最大毎分1,000...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フォトニックラティス