「フォトマスク」とは？

今さら聞けない！フォトマスクとは？から、用途や製造工程をご紹介！長年の…

『フォトマスク』は、「電子デバイス（半導体）」、「ディスプレイ」、 「プリント基板」、「マイクロマシン/MEMS」などを製造するときに 使用されるツールで、パターニングの原版になるものです。 写真で例えると、「ネガフィルム」の役目に当たり、「電子回路」などを 形成する基板が「印画紙」にあたります。 当社では、長年の歴史と先端技術だから実現出来る、信頼性が高く 高精度なフォトマス...

メーカー・取り扱い企業： 日本フイルコン株式会社

真空対応 位置決めテーブル ＜VT＞

真空対応 位置決めテーブル ＜VT＞

真空度（：到達 5×10-5Pa）対応の汎用型ＸＹ位置決めステージです。 【特長】 　◇真空対応ステッピングモータを採用（自社製） 　◇真空対応フォトセンサを採用（自社製） 　◇真空グリースの銘柄指定可、ノングリースも対応可 　◇汎用型のステージとの互換性が高く、大気→真空仕様への移行が 　　スムーズです。 　◇真空環境下以外でも、高温環境...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

SAL3481HV(マルチワークアライナ)

ウエーハ材質に影響を受けない新型アライナ

各種ウェーハに対応した100～200mm新型アライナ。 シリコンウェーハ、シリコンウェーハBGテープ（乳白色）付、透明、半透明ウェーハなどウェーハ材質に影響を受けずにアライメント可能 独自開発のイメージセンサを使用し、モータドライバ、コントローラを本体に内蔵 ウェーハサイズ、材質にあわせてスピンドルの径、形状、材質の変更も対応可能 ベルヌーイスピンドルも搭載可能 制御方式:RS232...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SAL30J1HV

ノッチレスウェーハにも対応した450mm新型アライナ

450mmシリコンウェーハの外周とT7コード又はノッチを基準に高速、高精度に位置決め 独自開発のイメージセンサを使用し、モータドライバ、コントローラを本体に内蔵 スピンドル形、形状、材質の変更にも対応可能 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 450mmと300mmの兼用タイプも製作可能 ウェーハ持ち直し動作が可能なZ軸付きも製作可能 ...○被搬送物 SEMI規格 450...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応 位置決めテーブル ＜MT＞

真空対応 位置決めテーブル ＜MT＞

真空度（：到達 5×10-5Pa）対応の小型位置決めステージです。 【特長】 　◇真空対応ステッピングモータを採用（自社製） 　◇真空対応フォトセンサを採用（自社製） 　◇真空グリースの銘柄指定可、ノングリースも対応可 　◇案内系にクロスローラガイドを採用し高剛性・高精度を実現、安定 　　した動きを保証 　◇ＸＹ軸、ＸＹＺ軸、θ軸など...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

真空対応 位置決めテーブル ＜PT＞

真空対応 位置決めテーブル ＜PT＞

真空度（：到達 5×10-5Pa）対応の薄型位置決めステージです。 【特長】 　◇真空対応ステッピングモータを採用（自社製） 　◇真空対応フォトセンサを採用（自社製） 　◇真空グリースの銘柄指定可、ノングリースも対応可 　◇厚さわずか２５ｍｍで省スペース化、並べて配置など複数設置にも 　　最適です。 　◇真空環境下以外でも、高温環境や...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

Ø300mm対応露光装置

Ø200mm Ø300mm対応露光装置（マスクアライナ）

【主な特長】 ・自社開発のミラー光学系ランプハウスを搭載、照射面内均一性、高照度を実現 ・独自の同軸アライメント方式と高速画像処理技術を採用し、高精度なアライメントを実現。I R方式や裏面方式にも対応 ・独自の光学式ギャップセンサにより、マスクと基板間のプロキシミティギャップを非接触で高速・高精度に設定 ・マスクチェンジャを搭載。最大20枚のフォトマスクを自動交換 ロードポートを最大３基...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大日本科研