フォトレジストとは？　基礎知識集

半導体製造には欠かせないフォトレジストに関して、基礎から知りたい方は是…

弊社では、電着レジストを製造・販売しておりますが、お客様の中にはそもそもフォトレジスト自体をご存知ではない方も多くおられました。 そこで今回、基礎知識ページのニーズがあると考え、フォトレジストの基礎知識ページを作成させて頂きました。 皆様の中には、下記のようなことをお考...

メーカー・取り扱い企業： ハニー化成株式会社

書籍【フォトレジスト材料の評価】

好評につき改訂版完成! 感光性樹脂・原材料の研究開発、配合、使用、製…

第1章 リソグラフィーの概要 第2章　フォトレジストの塗布 第3章　露光技術 第4章　露光後ベーク(PEB)と現像 第5章　g線,i線レジスト(ノボラックレジスト)の評価技術 第6章　KrF・ArF用フォトレジストの評価技術 第7章　...

メーカー・取り扱い企業： S&T出版株式会社

リソグラフィとは？

フォトレジストの塗布、露光、現象の3つのステップで構成されます。

きな影響を与えるため、 常に技術革新が求められています。 現在主流となっているリソグラフィ技術は、「液浸式アーゴンフッ素(ArF) エキシマレーザー」です。 【基本原理】 ■フォトレジストの塗布 ■露光 ■現象 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 夏目光学株式会社