インライン向け膜厚測定装置

フィルムや板状の膜厚を非破壊的にライン測定

各酸化膜、シリコン、フォトレジスト、各種フィルム、油膜、コーティング材、接着剤、金属酸化膜、誘電体膜などを光の干渉を用いて、非接触にそれら厚みを高精度に測定します。主にハロゲン光を使いますので、人体への影響も無く、場所も選びま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スペクトラ・コープ