COC ステンレスベアリングユニット ひしフランジ型

PRIP69K 防水・防塵　ベアリング内部に水が入らない

・IP69K　防水・防塵 ・頻度の高い高圧洗浄に耐える設計 ・食品ライン用に開発された新設計 ・シャフトに傷をつけいないオクロックシステム搭載 ・バクテリアの発生を防止するハウジング設計（スタンドオフ） ・取付面より12ｍｍのクリアランスを設けたSUS316ハウジング ・無給油（メンテナンスフリー）グリスアップ不要 ・NSF認証　H1グリス使用 ・ハウジングにQRコードを刻印　トレ...

メーカー・取り扱い企業： UEK株式会社

電流導入端子

PR高真空、超高真空へ の電流導入端子です！

米国MPFプロダクト社の電流導入端子のご紹介です。 ■MIL丸型、C-Sub型のマルチピン、熱電対、高電流・高電圧タイプ、同軸タイプ等各種電流導入端子を取り扱っております。 ■電流導入端子と併せて使用するコネクタ、ケーブル等もお取り扱いがございます。 ■標準品のカスタマイズ（フランジの変更、ピン長さの変更等）にも対応しております。まずはお問い合わせ下さいませ。 ※詳しくはカタログを...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テクサム

【SHシリーズ基板加熱ヒーター】真空成膜用 Max1100℃

CVD, PVD（蒸着, スパッタ, PLD, ALD等）均熱性・再現…

ヒータープレートにインコネルもしくはBNプレートを採用した、熱放射効率が良く、均熱性に優れた成膜装置・真空薄膜実験用高真空対応ホットプレートです。 【ラインナップ】 ◎ SH-IN（インコネルプレート）：φ1.0〜φ6.1inch 真空・O2・活性ガス用 ◎ SH-BN（BNプレート, Moカバー）：φ2.1〜φ6.1inch 真空・不活性ガス用 【特徴】 ◎ 最高温度1100℃...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』

真空チャンバの到達圧力から、スパッタプロセス圧力までの広範囲（1～80…

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』は、測定質量範囲1～80amuであり、2.0Pa以下（差動排気系不要）の圧力から測定可能な四重極型質量分析計です。 プロセス中のガス分圧を監視し、プロセスガス異常・リークなどの不具合を検知し、プロセス安定性を提供いたします。 プロセス中の品質管理や残留ガス分析などにご活用ください。 【特長】 ■プロセス中に高感度で水素を検出 ■広い圧力...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

SWCR3160CS (防水対応）

3軸円筒座標型クリーンロボット

防水対応3軸円筒座標型ロボットのSWCRシリーズです（300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付）。 水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。 薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。 保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適しています アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

GCR4210SN(クローズドループ制御)

・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリ…

低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応のスーパークリーンルーム用4軸水平多関節型クリーンロボットです。 並列配置されたカセットに対して走行軸なしで搬送可能です。 チャックの向きがカセットに対して直線移動し、エッジグリップによる搬送や角基板搬送も走行軸なしで対応可能。 各ウェーハサイズ対応可能です。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

成形ベローズ VG-VF 『CEV-10000』

真空配管用成形ベローズです。JIS規格真空フランジ付きです。

『CEV-10000』は、中日技研工業株式会社が取り扱う、 真空配管用成形ベローズです。 真空用の柔軟なベローズにJIS規格の真空フランジ（VG･VF）が付いた製品です。 真空配管の寸法調整や誤差吸収、及び振動吸収用として使用できます。 【特長】 ■バネ定数の小さい柔軟なベローズ ■製作口径：20A～300A ■製作全長（ L ）はご指示ください。 ■繰り返し耐久寿命が...

メーカー・取り扱い企業： 中日技研工業株式会社

フィルターハウジング　フィルター　タイプS型フランジ

フィルターハウジング専門の製造元会社です。

品名　カートリッジフィルターハウジング 型式　SAF-S　タイプS型フランジ <ご使用用途> SAF燃料　食用油　エタノール　水素　有機溶剤　フィルターハウジング安価　医薬品　温室効果ガス　脱酸素　航空用燃料　ジェット燃料　グリースろ過　オートクリーンフィルター　潤滑油濾過　フィルターハウジング短納期　ミネラルウォーターボトリング　再生可能エネルギー　カーボンニュートラル　フィルターカー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スズコウ

SCR3160CSN (クローズドループ制御)

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットです。 低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応の新型シングルアームロボットです。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮 バッテリ不要な機械式多回転...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

STCR4160SN(クローズドループ制御)

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…

スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットです。 低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応の新型ツインアームロボットです。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮 バッテリ不要な機械式多回転...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル