【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

トルクリミタ

PR回転機の過負荷保護に！KTRのトルクリミタ

『トルクリミタ』は負荷発生時に空転することで逃げ場を作り、機械装置を保護する部品です。 ケーティーアールジャパン（KTR）が取り扱う『トルクリミタ』は、 摩擦(負荷保持型)式、ボール式、アイドル回転(フランジタイプ)、バックラッシュフリーの4種類を展開！ また、スプロケット、プーリー、カップリングを一体化させたコンパクトデザインの御提案も可能。 長年の経験と実績に基づくノウハウによって、用途に適...

メーカー・取り扱い企業： ケーティーアールジャパン株式会社

SWCR3160CS (防水対応）

3軸円筒座標型クリーンロボット

防水対応3軸円筒座標型ロボットのSWCRシリーズです（300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付）。 水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。 薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。 保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適しています アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

GCR4210SN(クローズドループ制御)

・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリ…

低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応のスーパークリーンルーム用4軸水平多関節型クリーンロボットです。 並列配置されたカセットに対して走行軸なしで搬送可能です。 チャックの向きがカセットに対して直線移動し、エッジグリップによる搬送や角基板搬送も走行軸なしで対応可能。 各ウェーハサイズ対応可能です。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SCR3160CSN (クローズドループ制御)

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットです。 低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応の新型シングルアームロボットです。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮 バッテリ不要な機械式多回転...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

STCR4160SN(クローズドループ制御)

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…

スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットです。 低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応の新型ツインアームロボットです。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮 バッテリ不要な機械式多回転...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル