【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

【シロキサンフリー】半導体チップ搬送ケース『ゲルベースVタイプ』

PR半導体チップや精密デバイスなどを振動から守り 安全に保管・搬送！シロキ…

★電子機器トータルソリューション展に出展します★ JPCA Show 2024 2024/4/24(水)～26(金) 10:00-17:00 パシフィコ横浜　展示ホール 小間番号：6H-10 ゲルベースは半導体チップや精密デバイスなど細かな部品の工場内、工程内搬送、海外搬送用として使用できます。 搬送時は振動から精密部品を守り、また半導体等部品のデバイス固定用としても大活躍。 粘...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エクシール 本社

ステンレスマグネットポンプ　MPシリーズ

シールレス・高信頼性・メンテナンスフリーでトータルコスト（ライフサイク…

■特長■□■ ■液洩れのないシールレス構造 耐食ポンプではすでに常識となったマグ ネット駆動方式のシールレス構造により、 液モレがなく、ポンプ周りの汚れも追放。 ■頑強・メンテナンスフリー 耐食、耐熱、耐圧強度に優れたオールステンレス製。標準採用の超潤滑性、超低摩耗SiC-D軸受は、マグネットドライブをしっかりとサポートし、メンテナンスフリーを実現。 ※詳しくはPDFをダウ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イワキ

イワキエアー駆動ベローズポンプ　FS-Nシリーズ

最大100L/minが移送可能なエアー駆動フッ素樹脂製大型ベローズポン…

■高速ストローク ■コンタミフリー設計 ■大流量/高圧吐出...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イワキ

エアー駆動ベローズポンプ　FS-Hシリーズ

高速ストローク化で小型・軽量・ローコスト化を実現

■高速ストローク ■コンタミフリー ■幅広い液温範囲・高圧吐出...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イワキ

イワキ電磁定量ポンプ　EHNシリーズ

次亜塩素酸ナトリウム、高分子凝集剤などの注入に対応する特殊仕様を用意

【特長】 ■フリー電源 　電源電圧を気にすることなく使用できます。（AC100V〜240V） ■高分解能 　１〜３６０ｓｐｍまで１ｓｐｍ刻みの設定が可能。 　ストローク長調節と併用することにより、吐出量を幅...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イワキ

イワキフォトレジストディスペンスポンプ　PDSシリーズ

再現性±0.3%（F.S.）以下、大幅な省レジストを実現

■□■特長■□■ ■大幅な省レジスト ■多様なコートプロセスに対応 ■ダウンタイムの短縮 ■コンタミフリー ■高粘度用途に対応（PDS-H115) 詳しくはPDFデータをダウンロードいただくか、お気軽にお問合せください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イワキ

イワキエアー駆動ベローズポンプ　FS-100HT2

高温大流量移送により、洗浄効率の大幅な向上を実現したベローズポンプ

率の大幅な向上】 循環流量の向上により、パーティクル、ウェハー表面の金属汚染物、有機汚染物の除去効率が向上し、回路パターンの微細化による、洗浄時間の増加を抑えることが可能です。 【コンタミフリー設計】 接液部には、全てフッ素樹脂（PTEF,PFA）を使用し半導体用途で使用される酸、アルカリ、過水などの薬液移送が可能です。 また、ポンプの外周部もフッ素コーティングを施し、金属露出が無い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イワキ