プラズマ評価ツール『プラズマインジケータ　PLAZMARK』

PRプラズマ処理効果の「見える化」を実現！プラズマインジケータ(TM) P…

『プラズマインジケータ(TM)　PLAZMARK(R)』は、プラズマで変色する色材を用いたプラズマ処理効果の確認用インジケータです。 プラズマ密度に応じて段階的に変色しますので、プラズマの状態を「色で見える化」できます。 変色は不可逆反応のため、判定記録として残せ、工程管理にも利用できます。 また、変色は簡単に数値化でき、他の測定結果との相関を見ることもできます（ただし数値化には別途、色差計...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サクラクレパス PI事業部

仕組みを漫画で解説！目視チェック可能なプラズマ処理効果評価ツール

サクラクレパスのプラズマインジケータは変色による効果確認が可能！今まで…

『PLAZMARK O2クリーニング用・Arクリーニング用』は、 実装工程や後工程向けのプラズマ処理効果の評価ツールです。 「O2クリーニング用」はラジカル性のプラズマ検知に好適。 UV洗浄やUVオゾン洗浄にも適用できます。 「Arクリーニング用」は、アルゴンプラズマに代表される イオン性の強いプラズマに対して変色感度がある色材を用いることで、 クリーニングや前処理工程の処理効...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サクラクレパス PI事業部

表面電荷分析装置 SCA2011

表面電荷分析装置

表面電荷分析装置は、半導体前工程管理とりわけ熱酸化膜、ＣＶＤ膜形成、メタライゼーション、洗浄及びエッチングなどプロセス中に生じた汚染とダメージのモニタリングに最適です。 ...ウェハー表面電荷量及び界面準位密度の測定 　　■酸化膜工程 　　　・ウェハー汚染やプラズマ損傷による酸化膜中 　　　　電荷量の変化 　　　・熱ストレス等による界面準位密度の変化 　　　・窒化酸化膜中の固定電...

メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社