インライン成分分析セミナー無料ご招待【6/19・20開催】

PRなぜ、インライン分析がいま重要なのか？人手不足や労働時間規制に対応する…

無料オンラインセミナーのご招待です。 フォスのインライン成分分析装置について深掘りし、 製造プロセスの最適化と生産性の向上にどのように寄与するかをご紹介。 技術トレンドや、各業界でお使い頂けるアプリケーションを中心とした活用事例や応用例も紹介し、 人手不足や労働時間規制に対応するための製造プロセス改善のヒントを得られます。 乳業や食肉、飼料、穀物分野などの担当者の方に特におススメのセ...

メーカー・取り扱い企業： フォス･ジャパン株式会社

【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化（No.2220）

PR【試読できます】－成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄－

書籍名：先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか！ 　　新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■　本書のポイント　1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社技術情報協会

液封式真空ポンプ（水封式真空ポンプ）

液封式真空ポンプは、水またはプロセス流体を封液とする、大気圧まで圧縮で…

を含む気体（凝縮性気体）の排気にも対応 ○封液をクローズド（閉サイクル）システムで循環することにより、 　 発生する廃液を最小に抑えることも可能 ○他のポンプなどと組合せることにより、様々なプロセスに対応 ・ルーツポンプと組合せることにより、少ないエネルギーで大排気、高真空を実現（PRLシリーズ） ・アトモスタ（空気エジェクタ）と組合せることにより、到達圧力を有利にし、 　キャビテーシ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

電源ユニット・ポンプ一体型ターボ分子ポンプ

新製品TGkine4200M発売！！余計な配線が不要で作業効率とメンテ…

【特徴】 ○バランスの良い排気性能で、幅広いプロセスに適応 ○広い真空領域で大流量排気が可能 ○優れた到達圧力、高圧縮比 ○補助ポンプと同時起動で、排気時間を短縮ができる ○ロータ回転数を任意に設定可能（110～450rps） ○プロセス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

省エネ型ドライ真空ポンプ　ER100D/ER100DC

同クラスの中でもトップクラスの省エネルギー・小型・軽量を実現！

.11m2（230×450mm）、重量は60kgです。冷却水量・バージガス量の削減で省ユーティリティです。国際規格適合で、用途に応じた製品仕様をご用意しております。ER100Dは、軽負荷・クリーンプロセスの排気に最適、ER100DCは、耐食性能の高い材質を採用、腐食性ガスの排気に対応しています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

油拡散真空ポンプ

簡単に超真空を得ることができ、幅広い真空プロセスに用いられている真空ポ…

簡単に超真空を得ることができ、幅広い真空プロセスに用いられている真空ポンプ 【特徴】 ○10,000L/s（バッフルなし）以上の排気速度を持つポンプもラインアップ ○作動油の突沸による圧力変動が少ない信頼性の高い超高真空ポンプ ○機械的...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

複合分子ポンプ　TG5000/5003 TG5500/5503

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【製品の特長】 ○クリーンプロセス向けの標準型と、腐食性ガスの排気に強いケミカル形をラインアップ ○世界最大級の複合分子ポンプ ○不意の大気突入に強い構造 ○外部からの衝撃に強い ●その他機能や特長については、カタログ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

反応生成物対応　磁気軸受形複合分子ポンプ　TG-MIシリーズ

独自の生成物対策により、プロセスで発生する反応生成物のポンプへの堆積を…

外部ヒータによる昇温に加え、ポンプ内部で発生する吸引ガスとの摩擦熱を有効利用して、接ガス部を効率よく昇温 ■ 外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上！！ ■ 主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへのダメージを低減。 ...【製品の特長】 ○外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上 ○ロータなど主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへの熱ダメージを低減 ○排気...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形　複合分子ポンプ(TG-Mシリーズ)

広領域排気　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。

400L/Sまでラインナップ(ケミカル形あり) ○フルデジタルコントローラーの採用により、振動が大幅に低減 ○ポンプ接続時および電源投入時にセンサの自動調整を行います ○回転速度を変更でき、プロセスに応じた排気性能を実現可能 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

コントローラ・電源一体型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ

余計な配線が不要で作業効率とメンテナンス性が向上！

【特徴】 ○バランスの良い排気性能で、幅広いプロセスに適応 ○広い真空領域で大流量排気が可能 ○優れた到達圧力、高圧縮比 ○補助ポンプと同時起動で、排気時間を短縮ができる ○ロータ回転数を任意に設定可能（110～450rps） ○プロセス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

複合分子ポンプ　TG1810/1813

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【製品の特長】 ○クリーンプロセス向けの標準型と、腐食性ガスの排気に強いケミカル形をラインアップ ○不意の大気突入に強い構造 ○外部からの衝撃に強い ○シリアル通信可能 ○安全規格認定取得　NRTL / SEMI-S2 /...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所