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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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DrM社製ろ過装置『FUNDAWAVE/FUNDALOOP』
PRペプチド医薬品・バイオ医薬品・飲料製造などの精製濃縮プロセスに好適。簡…
当社では、製薬や飲食料品、電池の陽極製造など様々な分野における UF・MFプロセスの工程改善に貢献するDrM社製ろ過装置を多数取り扱っています。 【特長】 <クロスフローろ過システム『FUNDAWAVE』> ■平膜を振動させてろ過する工業用クロスフローろ過ソリューション ■ろ材表面のケーキ層形成やTMP(膜間差圧)の上昇を抑制し、高濃度・高粘度な濃縮を実現 ■フィードポンプの小型化...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社富士フィルター工業 本社
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低温処理で安定した密着性コーティング!200℃以下の低温処理が可能
特殊スパッタリングおよびプラズマCVDプロセスの採用により低温プロセスで高膜厚精度で密着力にすぐれた耐摩耗、耐焼付き、低摩擦係数などすぐれたトライボロジー特性を持つコーティングを豊富な実績と経験に基づいて高品質、短納期にて請け負います。特にC...
メーカー・取り扱い企業: ナノコート・ティーエス株式会社 石川事業所
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