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PRプロセス装置に連続で薬液を供給
本装置はプロセス装置に予め決められた濃度の薬液を供給するための装置である 【仕様】 ○外形寸法:W1720*D810*H2010 ○重量:約800kg 本装置はプロセス装置に予め決められた濃度の薬液を供給するための装置である。最大、2種類2系統の薬液を供給することが出来ます。希釈濃度や供給量など動作に関する詳細はご希望内容に対応させていただきます。...●その他機能や詳細については、カタログダウ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノメイト
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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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金接点を用いた、設置スペースが狭小な場合の信号伝送におけるソリューショ…
ク上に金製のワイヤー接点を装着し、モジュールの中に取り付けています。 モジュールがコンパクトに設計されているために、限られたスペースに最適です。 当モジュールはエポキシ樹脂を使用し、精密なプロセスを経て製造しております。 トラックにV字型の溝が必要数刻まれています。 V字溝によって、衝撃や振動への耐性が増強され、また接触抵抗も経変されます。 【適用事例】 ■工作機械 ■軍事関...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社壬生電機製作所
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