【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化（No.2220）

PR【試読できます】－成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄－

書籍名：先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか！ 　　新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■　本書のポイント　1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社技術情報協会

イオンビームエッチング(IBE)・成膜装置(IBD)

PRR＆D用特殊仕様から量産向けまで対応可能！一般的なグリッドと比較して約…

当社で取り扱う、「イオンビームエッチング(IBE)・成膜装置(IBD)」を ご紹介いたします。 標準的なエントリーモデルから、膜厚均一性等の精密な制御が可能な ハイエンドモデルまでラインアップ。企業、アカデミアでの研究開発向けに、 グローブボックス付属等の特殊仕様にも対応します。 また、R＆Dのラボスケールから量産まで対応し、難エッチング材料のエッチング プロセスや、デュアルイ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

自己制御ヒーター　工業用ヒートトレースソリューション※防爆対応可

従来の温水・ボイラーでの加熱に比べ、自己制御ヒーターでCO2を大幅削減…

オート・トレース・ヒーター（自己制御ヒータ）は、 レイケムが開発した自己制御性で並列回路のヒーターです ヒートトレースソリューションは、製品・技術・実績により培った ノウハウにより生み出される保温・温度保持のオートトレース(自己制御)ヒーターです。 （Raychem：レイケム製） 蒸気からの切り替えでエネルギーコストを削減できる自己制御 ヒーターです。 維持・運転コストを年間1...

メーカー・取り扱い企業： 西都電機株式会社

自己制御テープヒーター　工業民生用ヒートトレースソリューション

従来の温水・ボイラーでの加熱に比べ、自己制御テープヒーターでCO2を大…

オート・トレース・ヒーター（自己制御テープヒーター）は、 レイケムが開発した自己制御性で並列回路のヒーターです。 ヒートトレースソリューションは、製品・技術・実績により培った ノウハウにより生み出される保温・温度保持の オートトレース(自己制御)テープヒーターです。 蒸気からの切り替えでエネルギーコストを削減でき、 維持・運転コストを年間10分の1以下に、 施工時間を4分の1...

メーカー・取り扱い企業： 西都電機株式会社