【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化（No.2220）

PR【試読できます】－成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄－

書籍名：先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか！ 　　新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■　本書のポイント　1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社技術情報協会

イオンビームエッチング(IBE)・成膜装置(IBD)

PRR＆D用特殊仕様から量産向けまで対応可能！一般的なグリッドと比較して約…

当社で取り扱う、「イオンビームエッチング(IBE)・成膜装置(IBD)」を ご紹介いたします。 標準的なエントリーモデルから、膜厚均一性等の精密な制御が可能な ハイエンドモデルまでラインアップ。企業、アカデミアでの研究開発向けに、 グローブボックス付属等の特殊仕様にも対応します。 また、R＆Dのラボスケールから量産まで対応し、難エッチング材料のエッチング プロセスや、デュアルイ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

圧力解放 | SFD型 引張型ラプチャーディスク

最先端のCPLテクノロジー活用でダウンタイム削減に貢献

SFD型（S＝Sublimated；昇華　FD＝Forward）は、様々なプロセス条件での使用に適した多用途ラプチャーディスクです。 REMBE独自開発の「コンツアー・プレシジョン・レーザーリング(CPL) 技術」を用いて製造され、機械的スコアリングが原因の早期破裂、スコア部の腐食、ピンホールのような一般的な産業上の懸念が、 CPL技術により払拭されます。想定外の問題が発生した場合、コストのかかる...

メーカー・取り扱い企業： REMBE株式会社

圧力解放 | IKB型 反転型ラプチャーディスク

高度なCPL技術によるダウンタイムの最小化と卓越したパフォーマンス

IKB型は、様々な用途や幅広いプロセスに適しており、費用対効果に優れた反転型ラプチャーディスクです。プラント全体のニーズに合わせて、多様なソリューションを提供します。IKB型ラプチャーディスクは、圧力容器、配管システム、ガスシリンダー、リアクター等を過剰圧力から保護するために特別に設計されました。 IKB型は、REMBE独自開発の「コンツアー・プレシジョン・レーザーリング(CPL) 技術」を...

メーカー・取り扱い企業： REMBE株式会社

防爆 | GSMEとHOTSPOTによる爆発予防

接地監視システムや火花消火システムに加え、GSMEシリーズとHOTSP…

▶ 爆発・火災の予防 粉じん爆発の危険性のある設備には、特に着火源が回避できないことが多いため、能動的な防爆対策が施されていることがよくあります。 静電現象や機械的に発生する火花のほか、最も一般的な着火源としては、燠火、裸火、高温の表面などがあります。 接地監視システムや火花消火システムに加え、新しいGSMEシリーズとHOTSPOTシリーズのディテクターは防爆安全の大幅な向上に貢献します。両...

メーカー・取り扱い企業： REMBE株式会社

圧力解放 | IKB-X型 反転型ラプチャーディスク

高精度の製造技術による汎用性の高いラプチャーディスク

IKB-X型は、様々なプロセス条件に対応したコストパフォーマンスの 高い反転型ラプチャーディスクで、様々な用途及び産業分野に適し ています。 特に、付属のホルダーが不要な場合、プラント全体のニーズを満た す汎用性の高いラプチャーディスクとしてご使用いただけます。 【ご使用のメリット】 ◆大容量の生産が可能 - 独自開発のCPP技術により、安定した圧 力解放を保証。 ◆取付用の特...

メーカー・取り扱い企業： REMBE株式会社

防爆 | Q-ROHR粉じん・ガス爆発対応フレームレス爆発放散口

Q-Rohrがあれば、お客様の生産工場に最適なレイアウトを使用しながら…

安全性と作業効率は両立します。Q-Rohrは、火炎や粉じんのない爆発放散を密閉屋内で可能にします。屋外への放散のための複雑なダクト及びそれに伴う生産設備の配置変更は必要ありません。Q-Rohrがあれば、お客様の生産工場に最適なレイアウトを使用しながら、可能な限り最高の爆発安全の保証を提供します。さらに、Q-Rohrはランニングコストの面でも非常に優れています。ベントダクトをなくすことで、設置費用だ...

メーカー・取り扱い企業： REMBE株式会社