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PN接合の深さおよびキャリヤ濃度分布を測定!オプションにより表面抵抗測…
そのプローブ間の拡がり抵抗値からSiの深さ方向の比抵抗プロファイル、 EPI層の厚み、PN接合の深さおよびキャリヤ濃度分布を測定。 「SRP2000」は、プローブのコンディショニング、ベベルアングルの測定、 標準サンプルのデータ入力などが全自動化し、多数サンプルの連続自動 測定ができ、サンプルは最大6個同時搭載可能です。 【特長】 ■世界標準キャリア濃度分布・プロファイル...
メーカー・取り扱い企業: 日本セミラボ株式会社 新横浜本社
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