自動微量金属汚染物質回収装置『NAC-304』

SiC、GaN、サファイア等の親水性ウェーハでも回収が可能！

【その他特長】 ■VPD&回収は125mm～300mmウェーハまで対応が可能 ■表面回収・ベベル回収（疎水面が条件）が可能 ■300mmウェーハの回収時間は疎水面ウェーハでは10分程度 ■回収率はほぼ90%以上 ■装置のクリーン度は一般的な10元素で1×10^8atoms/cm2以下　...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社NAS技研

簡易型微量汚染物質回収装置『SC-3000』

何方でも容易に使用可能な疎水性ウェーハの回収装置です

『SC-3000』は、疎水性ウェーハ表面の微量汚染物質を回収できる 簡易型微量汚染物質回収装置です。 パソコンと接続して多彩な回収パターンを作成し、シリコンウェーハの 表面や側面（ベベル部）から微量金属汚染を回収（サンプリング）します。 また、外部資源をあまり必要とせず、また場所もとらないため、 装置の導入が容易です。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【特...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社NAS技研