G8対応　枚葉スピン式　大型マスク洗浄装置　MSC-1500

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

粒子、吸着微粒子の除去洗浄 ■　受け入れ洗浄、各種工程間の洗浄（成膜前、露光前、剥離後、エッチング後、 　 バックグラインド後など）パーティクル除去、ファイナル洗浄 ■　表面改質洗浄 ■　ベベル、端面洗浄など □その他詳細についてはカタログをご覧ください ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場