従来の横型真空ポンプに比べ、省スペース化、低コスト化を実現

PR立型構造の為、従来の横型に比べ圧倒的な省スペース化。又、同じ動力であれ…

『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプ（ルーツ真空ポンプ）です。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宇野澤組鐵工所

三浦工業のバイデルポンプ・ロータリーポンプ

PR豊かな発想と技術力でお客様により良い「機能」と「安全・安心」をお届け！…

三浦工業株式会社は、ボイラの開発で蓄積してきた豊富なノウハウを活かし各種ポンプを取り扱っております。 高粘度液の移送が可能な「高粘度液移送ポンプ VRP」をはじめ脱気、吸引、吸着に適した「水封式真空ポンプ MEA」などをラインアップ。 お客様に様々な用途でより良い「機能」と「安全」「安心」をお届けしたいと考えています。 【取扱い製品】 ■高粘度液移送ポンプ VRP ■高粘度液...

メーカー・取り扱い企業： 三浦工業株式会社

真空ポンプ『イオンポンプ・ノーブルポンプ』

無振動・無騒音！被排気系を汚染する心配が無いため夜間の無人運転にも安心…

『イオンポンプ・ノーブルポンプ』は、超高真空ポンプです。 磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に 埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、 活性...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空ポンプ『コンビネーションポンプ』

排気速度1L/sあたりの価格はイオンポンプに比べて約1/2～1/3！水…

『コンビネーションポンプ』は、チタンサブリメーションポンプと三極型 イオンポンプ(ノーブルポンプ)を組み合わせることで、イオンポンプの 有している清浄な超高真空が容易に得られるという特長をそのまま生かし、 大排気速...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

極高真空対応スパッタイオンポンプ『エクセルポンプ』

40％のサイズダウン！組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバー…

『エクセルポンプ』は、小型軽量の真空ポンプです。 イオンポンプをベースに、低い圧力領域での放電特性を改良し開発した ポンプ素子、効率のよいベーキングを行えるビルドインヒータを採用。 また、NEG(非...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

チタンサブリメーションポンプ・タイバックポンプ

オイルフリーの超高真空が実現可能！大型ポンプ単体で用いる場合に比べ極め…

「チタンサブリメーションポンプ」および「タイバックポンプ」は、 チタンを真空中で加熱昇華させ、周囲壁面にチタン蒸着膜(ゲッター面)を作り、 金属のゲッター作用を利用して、気体の吸着排気を行うゲッターポンプです。 イオ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置『P-500』

新設計により視認性と機能アップ！自動化装置・遠隔操作用装置に適していま…

『P-500』は、10^-2Pa～10^-4Pa以下の高真空からイオンポンプ又は ノーブルポンプを運転する制御装置です。 表示は緑色の大型LEDを採用し、離れた位置からの視認性を向上。 従来モデルとの互換性を考慮しながら、機能アップ、CE、RoHS適合を 実現...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

アイソレイトバルブ『V-025SV』

特別な制御回路は必要なし！被排気系側への油回転真空ポンプ油の逆流を防止

『V-025SV』は、主に油回転真空ポンプの吸気口に取り付けて使用します。 カットバルブとベントバルブの機能を装備。停電や誤操作などによる ポンプ油の逆流防止に役立ちます。 駆動源には油回転真空ポンプで発生する真空力を利用し...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

POWER Ecoシリーズ　高性能省エネルギー型クライオポンプ

小型に加え中・大型もラインアップ！性能・省エネルギー両面で大きな優位性…

POWER Ecoシリーズの当製品は、省エネルギーの観点から、消費電力や 冷却水量を低減することを目的として開発された高性能省エネルギー型の クライオポンプです。 冷凍機の高効率化やマルチウエーブ制御により、コンプレッサ1台で運転可能な クライオポンプの台数が増えているため、1台あたりの消費電力や冷却水量が 格段に低減されています。 ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空ポンプ『フォアライントラップ』

簡単に油蒸気の逆流を防止することが可能！油分子を効率よく吸着します

『フォアライントラップ』は、ガス通路に設けたモレキュラシーブにより、 油分子を効率よく吸着します。 さらに、モレキュラシーブを液体窒素で冷却することによって、油分子のみ ならず水蒸気も効果的に吸着します。(フォアライントラップSの場合) また、ヒータが内蔵されていますので、使用前にモレキュラシーブを ベーキングすることによって、簡単にモレキュラシーブの吸着能力を 再生できます。...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

POWERシリーズ　高性能クライオポンプ(小型)

吸気口径8～12インチの小型タイプ！ヒータレスで安全な高速再生を実現し…

POWERシリーズの当製品は、実用的な排気性能やマルチ運転での温度安定性を 向上させた高性能型のクライオポンプです。 振動加速度の平均値は従来に比べ約10分の1以下(当社比)。 マルチ運転時に1台のポンプのみ再生しても、極端に起動時間が長くなる ことはなく、運転環境による起動時間の変化を最小...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ヘリウムリークディテクタ『HELENシリーズ』

ボタン操作1つで機器の立ち上げから測定までが可能！高い感度、安定性、応…

HELENシリーズ』は、小型、軽量、可搬性をコンセプトに開発した ポータブルタイプのヘリウムリークディテクターです。 機動性を重視したコンパクトタイプの「M-212LD」やダイヤフラム ポンプを搭載した「M-212LD（-D）」、ハイパワーの「M-222LD」 など、さまざまな製品をご用意。 業界でも高レベルの感度、安定性、応答性を実現しています。 【特長】 ■イージー...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

キヤノンアネルバ株式会社　会社案内

社会の発展に貢献！超真空技術を用いた高付加価値製品を提供

】 ■真空成膜加工装置製造・販売 　・半導体製造装置 　・ストレージデバイス製造装置 　・電子部品製造装置 　・研究開発・小規模生産装置 ■真空コンポーネント製品製造・販売 　・真空ポンプ 　・真空計測機器・分析機器 　・真空部品 ■保守サービス 　・装置、真空コンポーネント製品保守・改造 　・保守部品販売 　・部品洗浄 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社