ハイブリッド・アクチュエータ『HySerpack』※技術資料進呈

PRサーボモータで油圧ポンプを回転させ、油圧ポンプ吐出方向を制御。制御弁、…

当社が開発したハイブリッド・アクチュエータ『HySerpack』は、 制御弁がいらず、推力やロッド位置の制御を高精度で行えます。 サーボモータで油圧ポンプを回転させ、サーボモータの正逆回転によって 油圧ポンプの吐出方向を制御。方向制御弁がいらず、回転速度の制御で、 作業油の吐出量もコントロールできるため、油量制御もいりません。 電動アクチュエータの特長と、油圧シリンダの高剛性を兼ね備...

メーカー・取り扱い企業： 第一電気株式会社

高圧ポンプユニット　KPWシリーズ（組込用）

PRエア圧調整器、エア圧力計、吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込…

『KPWシリーズ』は、高圧ポンプに基本的に必要となる周辺機器をセットにして、専用量産装置以外の用途で利用しやすいように整えたユニットです。 エア駆動式プランジャーポンプ内蔵の高圧水発生ユニットでエア圧調整器､エア圧力計､吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込みに適しており、 高圧ジェット洗浄用としてウエハのIPA洗浄や溶剤による剥離等に用います。 【特長】 ■小型な組込用ポンプユ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

【脈動低減効果】フローコントロールバルブ　流量調整弁

逆止弁と絞り弁（オリフィス）を1つに組み合わせた流量制御弁。ポンプの脈…

信頼性の高い長期にわたる一貫した性能の維持の為、各バルブは100％動作試験を行っております。Leeフローコントロール弁は取付けに、挿入部マニフォールドのねじ切り加工やＯリング等のシール材等の特別な設計を必要としません。マニフォールドブロックにドリル加工で開けた穴にバルブを挿入し、バルブに予め挿入されている拡張ピンをバルブ本体に打ち込むことによってマニフォールド挿入穴に密着して固定され、同時にシール...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジュピターコーポレーション 本社