汎用型差圧式エアリークテスタ｜FLA-0201 series

PR【新発売】様々な測定環境にフレキシブルに対応できる汎用型エアリークテス…

様々な測定方式（ワークとワークの比較、ワークとマスタの比較、ワークと固定マスタ（マスタレス））や、 測定環境にフレキシブルに対応できる汎用型エアリークテスタ。 圧力範囲により豊富な9種のラインアップは高圧にも対応しています。 マスタリング測定により短時間でも高精度測定が可能な、フクダのフラグシップモデルです。 マスタレス差圧式エアリークテスタ『FLA-0200 series』もございます。 ●予...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フクダ

半自動メタルマスク製版装置『CombiMaster』

PR製版作業の半自動化で生産性アップ、生産コスト削減。専用接着シールは低環…

半自動メタルマスク製版装置『CombiMaster』は、 製版作業時に接着剤を手作業で塗る工程を半自動化でき、 生産性の向上、省力化・省人化に貢献する製品です。 専用接着シールにより、洗浄耐久性の向上につながるほか、 揮発性物質を使用しておらず、作業環境の改善に貢献。 メタルマスクの生産にかかるコストを削減することができます。 【仕様】 設備サイズ：2500×900×19...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MkFFJapan

［GC/MS］ガスクロマトグラフィー質量分析法

有機化合物の定性・定量を行う分析手法です

■質量分離(四重極型) 生成したイオンは4本のロッドからなる四重極型質量分析計に導入されます。ロッドにかける電圧を調整することにより、特定の質量のイオンのみが検出器に到達し分子の質量情報を有するマススペクトルが得られます。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】二次電池 負極粒子表面の分布評価

一粒の粉体表面に分布する成分の評価が可能

を、TOF-SIMSにて分析した事例をご紹介します。一粒の粉体の表面にグラファイトとPVDFが分布している様子が確認できました。 飛行時間型二次イオン質量分析法（TOF-SIMS）は、二次イオンのマススペクトルから表面の有機物・無機物の定性・イメージに適した手法です。分解能よく分析することが可能なため、微小異物やしみなどの分布評価に有効です。 測定法：TOF-SIMS 製品分野：二次電池 ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】GCによる窒素化合物の高感度分析

GC/MS/NPD（窒素リン検出器）を用いた窒素化合物の分析

ることが可能です。本事例では含窒素化合物であるトリメチルアミンが微量に含まれる試料をGC/MS/NPDで測定しました。MSではベースラインに埋もれていたピークがNPDで確認されたため、同一保持時間のマススペクトルからトリメチルアミンを定性することができました。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】Siウエハベベル部の汚染評価

金属成分と有機成分を同時に評価可能です

面の清浄度向上に加え、ウエハのベベル部に残留する物質を除去することが求められています。今回、ベベル傾斜面のTOF-SIMS分析を行い、汚染の分布を評価しました（図2）。また、付着物と正常部・汚染源のマススペクトルを比較し、付着物は汚染源の金属（Cr）成分・有機物成分と一致していることがわかりました。 TOF-SIMSにてベベル部（端面と傾斜面）の汚染の発生工程を捉える事が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST