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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PRBACnetモジュール BTL認証
BACnetモジュール BTL認証品、ルータ2種類、入力11種類、出力11種類、混合マルチ12種類の合計36種類の豊富なモジュールを用意しております。 防水仕様もあり、各種機器に特化した最適なモジュールを開発しております。...アナログ入力、アナログ出力、デジタル入力、デジタル出力、温度センサー入力、パルス入力、入出力混合モジュール、ルータ各種 全てBTL 認証...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社リンスコネクト
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デジタル変換器『M800変換器』(マルチチャンネル&パラメータ)
視認性の高い表示スクリーンでマルチパラメータを同時に管理。
P、光学式溶存酸素、ポーラログラフ式 O2(溶存酸素と O2 ガス)および導電率を測定できる極めて高度なインテリジェントセンサーマネジメント (ISM) テクノロジーを特長としています。 マルチパラメータ変換器は、さまざまなな ISM センサを組み合わせて利用できます。 最大 4 チャンネルのプロセス測定に加えて、2 つの流量測定が 1 台の変換器で実現できます。 プラグ&メジャーに...
メーカー・取り扱い企業: メトラー・トレド株式会社
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