フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

冷熱ブライン循環装置『ブラインチラー』【精密な温度制御！】

PR循環ポンプ１台で冷却加熱ブラインを供給！ブライン供給配管の切替作業不要…

ブラインチラーは、「試験装置・温度制御用」「半導体・完成テスト用」を ご用意した冷熱ブライン循環装置です。循環ポンプ１台で-100℃～+100℃ のブラインを供給します。ブライン供給配管の切替作業は不要です。 【仕様】 ■冷凍方式：混合冷媒・マルチカスケード方式 ■加熱方式：電気ヒーター・ホットガス加熱方式 ■循環ポンプ・ブラインタンク内蔵 　◎循環量：10～20L/min　◎揚程：10～15m...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マック

自動荷重切替（マルチウエイト）・メルトインデクサー

通常のシングルウエイトによる測定に加えてASTM D1238 D法に規…

25kg～21.6kgの荷重が予め装置に内蔵されています。ウエイトを自動で選択できることにより、オペレーターの負荷が軽減され、作業の安全性が向上します。 ■１回の試験で最大３ステップの荷重増減（マルチウエイト測定）が自動で可能です。これにより、熱可塑性プラスチックのレオロジー特性が、材料の分子量分布によって影響を受けるときの指標として一般に用いられるフローレイト比（FRR）を求めることができま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東洋精機製作所