真空ポンプ保護装置　標準HSコレクター　＜T型トラップ代替品＞

PR様々なパーティクルに対応でき、効率よく捕捉が行なえます！

「標準HSコレクター」は、フィルターの寿命を出来る限り永くする為に、パーツの選択が可能で、様々なパーティクルに対応でき、効率よく捕捉が行なえます。洗浄により半永久的に使用できる焼結金属フィルターとミスト回収用のセルロースフィルターが選択でき、また粒子により1～10μのデミスターを選択できます。ワンタッチで全ての部品が取り外せ、フィルターの交換が短時間で行なえ、ドレン部が全開口でき清掃が安易に行なえ...

メーカー・取り扱い企業： エイチアールディー株式会社 本社・大阪第一支店・大阪第二支店・名古屋支店・豊田支店・東京支店・HRD-THAI

高性能ブレードタイプミスト分離装置　ミストエリミネーター

PR長寿命！低コスト！特殊形状のブレードが20μm以上のミストを99.9％…

eブレードは、ミスト分離に優れた特性を持つ納入実績の多い装置です。特殊形状のミストエリミネーターブレードを使用しているため、20μm以上のミストを99.9％以上除去、回収する性能を持っています。また、圧力損失も低く、最大風速時でも300Pa以下です。 【特長】 ■風速が8m/secまでとれるため、コンパクト設計。 ■耐蝕FRP及びプラスチック製のため優れた耐蝕性。 ■特別な設計費等の発...

メーカー・取り扱い企業： イーテクノ株式会社 本社

IPAミスト直接置換乾燥装置『IMD IIID』

マランゴニ効果を利用！パワーデバイス製造の薄ウェハの乾燥をターゲットに…

当社の従来製品「IMD III」を使用して薄ウェハの乾燥処理を 行った場合、ウェハとキャリアを分離した際、隣のウェハ同士が 接触する問題が生じ、乾燥不良の原因となっていました。 『IMD IIID』は、純水引き下げで乾燥処理開始後、ウェハ上部が 純水面から出た直後にウェハ上部を保持。 その後、ウェハとキャリアを分離することにより、ウェハ同士の 接触を防止して、キャリアレス乾燥と...

メーカー・取り扱い企業： ワイエイシイメカトロニクス株式会社 つくば事業所　PV事業部

IPAミスト直接置換乾燥装置

IPAベーパーレスとマランゴニ対流を利用したIPAミスト直接置換乾燥装…

当社では、長年のIPAベーパー乾燥装置の設計・製造経験並びに多くの事例で 培ったノウハウをつぎ込み、IPAベーパーレスとマランゴニ対流を利用して 鋭意改善を進め開発した「ウォーターマークレス乾燥装置」をご提案いたします。 洗浄後SiウェハをIPA直接置換乾燥により、大気に曝すことなく、 Siウェハ面を「純水⇒IPA」に直接置換することで、水滴の残留しない 表面を得ることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： ワイエイシイメカトロニクス株式会社 つくば事業所　PV事業部