従来の横型真空ポンプに比べ、省スペース化、低コスト化を実現

PR立型構造の為、従来の横型に比べ圧倒的な省スペース化。又、同じ動力であれ…

『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプ（ルーツ真空ポンプ）です。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宇野澤組鐵工所

【パネルカット工事不要】制御ボックスクーラー『ヒカリラクール』

PR【旧モデルから冷却性能22%アップ！】マグネット脱着式！パネルカット工…

『ヒカリラクール』は、マグネット脱着式の制御ボックスクーラーです。 ペルチェモジュールの採用で「省スペース冷却」が可能。 緊急時のバックアップ用としてマグネット脱着式が活きます。 また、制御ボックス本体にパネルカットの必要がないため、 ミスト粉塵などがボックス内に侵入することを防げます。 【V2 MODEL】 冷却機能はアップさせ本体サイズはよりコンパクトに！ 旧モデルと比較して風量は88%...

メーカー・取り扱い企業： 光精工株式会社 本社

IPAミスト直接置換乾燥装置『IMD IIID』

マランゴニ効果を利用！パワーデバイス製造の薄ウェハの乾燥をターゲットに…

当社の従来製品「IMD III」を使用して薄ウェハの乾燥処理を 行った場合、ウェハとキャリアを分離した際、隣のウェハ同士が 接触する問題が生じ、乾燥不良の原因となっていました。 『IMD IIID』は、純水引き下げで乾燥処理開始後、ウェハ上部が 純水面から出た直後にウェハ上部を保持。 その後、ウェハとキャリアを分離することにより、ウェハ同士の 接触を防止して、キャリアレス乾燥と...

メーカー・取り扱い企業： ワイエイシイメカトロニクス株式会社 つくば事業所　PV事業部

IPAミスト直接置換乾燥装置

IPAベーパーレスとマランゴニ対流を利用したIPAミスト直接置換乾燥装…

当社では、長年のIPAベーパー乾燥装置の設計・製造経験並びに多くの事例で 培ったノウハウをつぎ込み、IPAベーパーレスとマランゴニ対流を利用して 鋭意改善を進め開発した「ウォーターマークレス乾燥装置」をご提案いたします。 洗浄後SiウェハをIPA直接置換乾燥により、大気に曝すことなく、 Siウェハ面を「純水⇒IPA」に直接置換することで、水滴の残留しない 表面を得ることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： ワイエイシイメカトロニクス株式会社 つくば事業所　PV事業部