【加工事例】白色干渉顕微鏡による加工面の測定

PRmm単位を超える広い面内測定範囲！多結晶セラミックスとSiC単結晶の測…

当社で新たに導入した、白色干渉顕微鏡による加工面の測定事例をご紹介します。 白色干渉顕微鏡は、光の干渉現象を利用して「表面形状」を計測、解析する 顕微鏡。測定対象材質を問わず、3D計測で面粗さ・線粗さに対応します。 多結晶セラミックスのワイヤースライス面からポリシング面の測定では、 スライス面Sa 0.8446 μm、ラッピング面Sa 0.2506 μm、ポリシング面 Sa 0....

メーカー・取り扱い企業： 株式会社新興製作所

両面ラッピング・ポリッシング装置　TR4W605K

水晶、石英、ガラス、シリコン等ウエーハの平行度を必要とするラッピング・…

小型３Ｂから中型６Ｂ、９Ｂまで、水晶、石英、シリコン等ウエーハの平行度を必要とするラッピング・ポリッシングに最適な装置です...

メーカー・取り扱い企業： テクノライズ株式会社

精密片面ラッピングポリッシング装置　TR15S

磁気ヘッド、YAG、レーザー等の高精度加工を必要とする超精密研磨に最適…

た、フェーシング機構・循環式水冷機構の採用により、プレートの平坦度を常に管理・維持ができます。 加えて、オシレーション機構・強制ドライブ機構の採用によりさまざまな高精度を要求する分野に対応したラッピング装置です。...

メーカー・取り扱い企業： テクノライズ株式会社

ラッピング・ポリッシング　消耗品

電子部品や光学部品材料、半導体ウェーハなど様々なラッピング・ポリッシン…

金属・セラミック等の電子部品材料から、サファイア、石英、水晶等の光学部品材料、 SiやGaAs、等の半導体ウェーハのCMP加工からMEMS等の超微細加工に至るまで、 貴社の加工材料に適したソフトウェアのご提供をしております。...【特徴】 ○ラップ・ポリッシング用研磨定盤 ○各種用途別ポリッシングクロス ○各種パウダー・スラリー ○各種分散剤・洗浄剤 ○各種接着剤 ○各種コンディショニ...

メーカー・取り扱い企業： テクノライズ株式会社

3軸制御精密片面ラッピング装置　TR15S-FR

高精度な平坦度加工、自由な曲率のＲ面加工が可能です。

プレート修正機構（フェーシング機構）にバイト昇降制御を装備。 フィードバックによる高精度平面管理、自由な曲率のＲ面管理が可能です。...【特徴】 ○フェーシングバイトの昇降機構にサーボモーターを採用 ○テーブルモーター、フェーシングモーターの3種のモーターがシンクロナイズコントロールされることにより、高精度な平坦度加工、自由な曲率のＲ面加工が可能です。（タッチパネル数値入力方式） ○自動...

メーカー・取り扱い企業： テクノライズ株式会社